Коваленко Олена Костянтинівна

Номер патенту: 67122

Опубліковано: 15.06.2004

Автори: Полухін Олексій Степанович, Коваленко Олена Костянтинівна, Копаєва Ольга Вікторівна, Губенко Лідія Іллівна, Коляда Алевтина Іванівна, Солодовнік Анатолій Іванович

МПК: H01L 21/22

Мітки: спосіб, полярності, прямої, діодів, структур, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення структур діодів прямої полярності, який включає створення на катодній поверхні пластини n-кремнію локального маскувального покриття, формування зон металу-розчинника на основі алюмінію відповідно до конфігурації наскрізних відокремлюючих областей по периметру структур, створення цих наскрізних відокремлюючих областей термоміграцією з одночасною дифузією алюмінію з пари, видалення маски і подальшу дифузію фосфору в...