H01L 021/208 — H01L 021/208
Спосіб одержання гомо- та гетероепітаксійних шарів з рідкої фази
Номер патенту: 9615
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: Баганов Євген Олександрович, Курак Владислав Володимирович, Марончук Ігор Євгенович, Андронова Олена Валеріївна
МПК: C30B 19/00, C30B 29/40, H01L 021/208 ...
Мітки: гомо, фазі, рідкої, гетероепітаксійних, одержання, спосіб, шарів
Формула / Реферат:
Спосіб одержання гомо- та гетероепітаксійних шарів з рідкої фази, що включає нагрівання розчину-розплаву до температури насичення, приведення поверхні підкладки, протилежної робочій, у контакт із теплопоглиначем при умові одержання суцільних епітаксійних шарів, приведення розчину-розплаву в контакт з робочою поверхнею підкладки, проведення кристалізації до досягнення різниці температур між теплопоглиначем і розчином-розплавом не більш ніж...