Калашников Андрій Веніамінович
Установка для рідкофазної епітаксії
Номер патенту: 62234
Опубліковано: 15.12.2003
Автори: Журба Олександр Михайлович, Цибуленко Вадим Володимирович, Курак Владислав Володимирович, Калашников Андрій Веніамінович, Марончук Ігор Євгенович
МПК: H01L 21/208
Мітки: рідкофазної, епітаксії, установка
Формула / Реферат:
Установка для рідкофазної епітаксії, що містить касету в нагрівальному вузлі, яка має багато комірок, утримуючий підкладку слайдер, встановлений із можливістю переміщення крізь касету уздовж комірок, для підведення підкладки в комірки, а також контейнери для гомогенізації і термопару, яка відрізняється тим, що касета виконана у вигляді розбірної конструкції, яка складається з основи, у пазу якої встановлений із можливістю переміщення слайдер...