КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова
Номер патенту: 22675
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/306
Мітки: плазмового, спосіб, плівок, індію, олова, прозорих, травлення, оптично, оксиду
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту та інертного газу-носія аргону, який відрізняється тим, що як основний газ-реагент використовують тетрахлорид вуглецю, процес травлення здійснюють за рахунок взаємодії з поверхнею плівок оксиду...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9700
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: пристрій, визначення, травлення, плазмового, процесу, закінчення, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9698
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, пристрій, моменту, визначення, процесу, плазмового, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 4229
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, пристрій, визначення, моменту, процесу, плазмового, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 4413
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, процесу, закінчення, плазмового, визначення, моменту, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...