Плахотнюк Максим Миколайович
Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках
Номер патенту: 46501
Опубліковано: 25.12.2009
Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович
МПК: H01L 21/00
Мітки: дифузійної, визначення, пристрій, мікроелектронний, напівпровідниках, заряду, неосновних, носіїв, довжини
Формула / Реферат:
Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках, який містить лазерне джерело світла, розташоване над діафрагмою та оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючих лінз, а також з джерела живлення і системи контактів, з'єднаних із зразком, та паралельно з'єднаних з опором навантаження, який відрізняється тим, що в нього введено блок обробки та індикації сигналу,...
Мікроелектронний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників
Номер патенту: 43410
Опубліковано: 10.08.2009
Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович
МПК: H01L 21/70
Мітки: контролю, параметрів, пристрій, оптично, прозорих, мікроелектронний, напівпровідників
Формула / Реферат:
Мікроелектроний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників, який містить джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, джерело живлення і систему контактів, з'єднаних із зразком, який відрізняється тим, що в нього введено мікроелектронний частотний перетворювач, що містить дільник напруги з двох резисторів, польовий та біполярний транзистори, індуктивність, ємність, резистор і два джерела постійної напруги,...
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова
Номер патенту: 22675
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/306
Мітки: індію, спосіб, оптично, олова, травлення, прозорих, оксиду, плазмового, плівок
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту та інертного газу-носія аргону, який відрізняється тим, що як основний газ-реагент використовують тетрахлорид вуглецю, процес травлення здійснюють за рахунок взаємодії з поверхнею плівок оксиду...