Повстяний Володимир Григорович
Пристрій для вирощування монокристалів кремнію, екрануючий пристрій для нього і спосіб вирощування монокристалів кремнію за методом чохральського
Номер патенту: 72795
Опубліковано: 15.04.2005
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Повстяний Володимир Григорович, Берінгов Сергій Борисович, Шульга Юрій Григорович
МПК: C30B 35/00, C30B 15/02
Мітки: екрануючий, кремнію, пристрій, спосіб, вирощування, нього, чохральського, методом, монокристалів
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, який включає камеру вирощування монокристала з розташованим у ній тиглем для одержання розплаву і витягування з розплаву монокристала кремнію і екрануючий пристрій, розташований співвісно вирощуваному монокристалу, який відрізняється тим, що екрануючий пристрій виконано у вигляді подвійного екрана - внутрішнього і зовнішнього, при цьому зовнішній екран має форму, що...
Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель
Номер патенту: 46145
Опубліковано: 15.05.2002
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Маковський Валерій Георгієвич, Берінгов Сергій Борисович, Шульга Юрій Григорович, Клевець Сергій Григорович, Повстяний Володимир Григорович
МПК: C30B 15/02
Мітки: повторного, завантаження, пристрій, матеріалу, тигель
Формула / Реферат:
1. Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель, що включає резервуар, підтримуючі елементи, розташовані в нижньому торці резервуара, і вузол кріплення резервуара до механізму переміщення, який відрізняється тим, що додатково містить фіксуюче кільце, що розташовано зовні резервуара і жорстко зв'язано з ним, при цьому резервуар постачено днищем, що відчиняється, а вузол кріплення резервуара виконано у вигляді послідовно з'єднаних...