Рябіков Віктор Михайлович
Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників
Номер патенту: 11658
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Ергаков Валерій Костянтинович, Рябіков Віктор Михайлович, Лукинський Юрій Леонідович, Сальков Євген Андрійович, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Любченко Олексій Вікторович
МПК: H01L 21/66
Мітки: контролю, параметрів, спосіб, напівпровідників, електрофізичних
Формула / Реферат:
Способ контроля электрофизических параметров полупроводников, основанный на измерении электропроводимости, коэффициента Холла в слабом магнитном поле и зависимости коэффициента Холла от величины магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в CdxHg1-xTe и InSb р-типа проводимости, дополнительно производят измерение коэффициента Холла при значении...