Лукинський Юрій Леонідович
Спосіб керування електрофізичними параметрами напівпровідникових сполук типу а11в1
Номер патенту: 11659
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Любченко Олексій Вікторович, Сальков Євген Андрійович, Курбанов Курбан Рамазанович, Мисливець Ксенія Артурівна, Баранський Петро Іванович, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Єргаков Валерій Костянтинович, Оліх Ярослав Михайлович, Лукинський Юрій Леонідович
МПК: H01L 21/26, H01L 21/463
Мітки: сполук, а11в1, напівпровідникових, параметрами, електрофізичними, типу, спосіб, керування
Формула / Реферат:
1. Способ управления электрофизическими параметрами полупроводниковых соединений типа АІ ВVI, включающий ультразвуковое воздействие интенсивностью 102 - 2-103 Вт/ч2 на образец соединения и последующее химическое удаление приповерхностного нарушенного слоя на глубину 5-10 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности управления концентраций, подвижностью и временем жизни носителей заряда в соединениях Cdxtg1-k Te состава...
Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників
Номер патенту: 11658
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Сальков Євген Андрійович, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Рябіков Віктор Михайлович, Любченко Олексій Вікторович, Лукинський Юрій Леонідович, Ергаков Валерій Костянтинович
МПК: H01L 21/66
Мітки: параметрів, контролю, спосіб, електрофізичних, напівпровідників
Формула / Реферат:
Способ контроля электрофизических параметров полупроводников, основанный на измерении электропроводимости, коэффициента Холла в слабом магнитном поле и зависимости коэффициента Холла от величины магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в CdxHg1-xTe и InSb р-типа проводимости, дополнительно производят измерение коэффициента Холла при значении...