Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Способ контроля электрофизических пара­метров полупроводников, основанный на измере­нии электропроводимости, коэффициента Холла в слабом магнитном поле и зависимости коэффици­ента Холла от величины магнитного поля, отлича­ющийся тем, что, с целью повышения точности раздельного определения концентрации и подвиж­ности электронов и дырок в CdxHg1-xTe и InSb р-типа проводимости, дополнительно производят измерение коэффициента Холла при значении ин­дукции магнитного поля в пределах

и вычисляют концентрации и подвижности элект­ронов и дырок по формулам

Р = ni2/n,

 где В - индукция магнитного поля;

mcn - справочное значение подвижности электро­нов в электронном материале;

a = Rxo s;

Rxo - коэффициент Холла в слабом магнитном по­ле;

s - электропроводимость;

ni - значение собственной концентрации носителей для данного материала при температуре определе­ния параметров;

b = s /еmcn

e - заряд электрона;

n - концентрация электронов;

mn - подвижность электронов;

Р - концентрация дырок;

mp - подвижность дырок;

Rx - коэффициент Холла при значении магнитной индукции

Текст

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для раздельного определения концентраций и подвижностей электронов и дырок в полупроводниках. Цель Изобретения - повышение точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в Cd x Hg ( Те и ZnSb р-типа проводимости, Измеряют электропровдность полупроводника и коэффициент Холла в слабом магнитном поле. Дополнительно измеряют коэффициент Холла при значении индукции В магнитного поля в пределах 0,7/Рн - а ^ В ^ О . З ^ / ^ С - а ^ Ь . По измеренным знамениям вычисляют концентрации и подвижности электронов и дырок в полупроводнике, где (и{, - справочное значение подвижности электронов; п- - концентрация собственных носителей заряда, а = R^G», С ~ электропроводность полупроводни- с ка, Rj - коэффициент Холла в слабом & магнитном поле» b и С - коэффициенты. 4 ил., -2 табл. СЛ Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для раздельного определения концентраций и подвижностей электронов и дырок в полупроводниках. Цель изобретения - повышение точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в Cd^Hg^Te и InSb р-типа проводимости . На фиг. 1 приведены графики зависимостей отношения концентраций дырок и электронов Р/п от отношения подвижностей (Wh/(Mp электронов и дырок соответственно, для четырех значений индукции В магнитного поля получен12-30 ных известным (_кривая 1) и предлагаемым (кривая 2).способами. * На фиг, 2 представлена" Зависимость коэффициента Холла от индукции магнитного поля для твердого раствора CdyHg^^Te (х=0,205) при температуре Т=77К. На фиг. 3 представлена зависимость приведенного коэффициента Холла -\J~R°/RX -Iі от индукции магнитного поля для твердого Cd y Hg

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Testing method for physical parameters of semiconductors

Автори англійською

Salkov Yevhen Andriiovych, Liubchenko Oleksii Viktorovych, Karachevtseva Liudmyla Anatoliivna, Ergakov Valerii Kostiantynovych, Lukynskyi Yurii Leonidovych, Riabikov Viktor Mykhailovych

Назва патенту російською

Способ контроля электрофизических параметров полупроводников

Автори російською

Сальков Евгений Андреевич, Любченко Алексей Викторович, Карачевцева Людмила Анатольевна, Ергаков Валерий Константинович, Лукинский Юрий Леонидович, рябиков Виктор Михайлович

МПК / Мітки

МПК: H01L 21/66

Мітки: контролю, спосіб, напівпровідників, електрофізичних, параметрів

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/6-11658-sposib-kontrolyu-elektrofizichnikh-parametriv-napivprovidnikiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників</a>

Подібні патенти