Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників
Номер патенту: 11658
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Карачевцева Людмила Анатольєвна, Рябіков Віктор Михайлович, Любченко Олексій Вікторович, Сальков Євген Андрійович, Ергаков Валерій Костянтинович, Лукинський Юрій Леонідович
Формула / Реферат
Способ контроля электрофизических параметров полупроводников, основанный на измерении электропроводимости, коэффициента Холла в слабом магнитном поле и зависимости коэффициента Холла от величины магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в CdxHg1-xTe и InSb р-типа проводимости, дополнительно производят измерение коэффициента Холла при значении индукции магнитного поля в пределах
и вычисляют концентрации и подвижности электронов и дырок по формулам
Р = ni2/n,
где В - индукция магнитного поля;
mcn - справочное значение подвижности электронов в электронном материале;
a = Rxo s;
Rxo - коэффициент Холла в слабом магнитном поле;
s - электропроводимость;
ni - значение собственной концентрации носителей для данного материала при температуре определения параметров;
b = s /еmcn
e - заряд электрона;
n - концентрация электронов;
mn - подвижность электронов;
Р - концентрация дырок;
mp - подвижность дырок;
Rx - коэффициент Холла при значении магнитной индукции
Текст
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для раздельного определения концентраций и подвижностей электронов и дырок в полупроводниках. Цель Изобретения - повышение точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в Cd x Hg ( Те и ZnSb р-типа проводимости, Измеряют электропровдность полупроводника и коэффициент Холла в слабом магнитном поле. Дополнительно измеряют коэффициент Холла при значении индукции В магнитного поля в пределах 0,7/Рн - а ^ В ^ О . З ^ / ^ С - а ^ Ь . По измеренным знамениям вычисляют концентрации и подвижности электронов и дырок в полупроводнике, где (и{, - справочное значение подвижности электронов; п- - концентрация собственных носителей заряда, а = R^G», С ~ электропроводность полупроводни- с ка, Rj - коэффициент Холла в слабом & магнитном поле» b и С - коэффициенты. 4 ил., -2 табл. СЛ Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для раздельного определения концентраций и подвижностей электронов и дырок в полупроводниках. Цель изобретения - повышение точности раздельного определения концентрации и подвижности электронов и дырок в Cd^Hg^Te и InSb р-типа проводимости . На фиг. 1 приведены графики зависимостей отношения концентраций дырок и электронов Р/п от отношения подвижностей (Wh/(Mp электронов и дырок соответственно, для четырех значений индукции В магнитного поля получен12-30 ных известным (_кривая 1) и предлагаемым (кривая 2).способами. * На фиг, 2 представлена" Зависимость коэффициента Холла от индукции магнитного поля для твердого раствора CdyHg^^Te (х=0,205) при температуре Т=77К. На фиг. 3 представлена зависимость приведенного коэффициента Холла -\J~R°/RX -Iі от индукции магнитного поля для твердого Cd y Hg
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюTesting method for physical parameters of semiconductors
Автори англійськоюSalkov Yevhen Andriiovych, Liubchenko Oleksii Viktorovych, Karachevtseva Liudmyla Anatoliivna, Ergakov Valerii Kostiantynovych, Lukynskyi Yurii Leonidovych, Riabikov Viktor Mykhailovych
Назва патенту російськоюСпособ контроля электрофизических параметров полупроводников
Автори російськоюСальков Евгений Андреевич, Любченко Алексей Викторович, Карачевцева Людмила Анатольевна, Ергаков Валерий Константинович, Лукинский Юрий Леонидович, рябиков Виктор Михайлович
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/66
Мітки: контролю, спосіб, напівпровідників, електрофізичних, параметрів
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/6-11658-sposib-kontrolyu-elektrofizichnikh-parametriv-napivprovidnikiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників</a>
Попередній патент: Спосіб одержання напівпровідникового матеріалу pi-cdchihgiota-chite
Наступний патент: Спосіб керування електрофізичними параметрами напівпровідникових сполук типу а11в1
Випадковий патент: Інкубатор