Ергаков Валерій Костянтинович

Спосіб контролю електрофізичних параметрів напівпровідників

Завантаження...

Номер патенту: 11658

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Рябіков Віктор Михайлович, Любченко Олексій Вікторович, Сальков Євген Андрійович, Карачевцева Людмила Анатольєвна, Ергаков Валерій Костянтинович, Лукинський Юрій Леонідович

МПК: H01L 21/66

Мітки: напівпровідників, спосіб, електрофізичних, контролю, параметрів

Формула / Реферат:

Способ контроля электрофизических пара­метров полупроводников, основанный на измере­нии электропроводимости, коэффициента Холла в слабом магнитном поле и зависимости коэффици­ента Холла от величины магнитного поля, отлича­ющийся тем, что, с целью повышения точности раздельного определения концентрации и подвиж­ности электронов и дырок в CdxHg1-xTe и InSb р-типа проводимости, дополнительно производят измерение коэффициента Холла при значении...