Шустов Юрій Михайлович
Спосіб виявлення локальних електрично активних дефектів на поверхні напівпровідника в структурах метал-діелектрик-напівпровідник
Номер патенту: 94947
Опубліковано: 25.06.2011
Автори: Поканевич Олексій Платонович, Попов Володимир Михайлович, Клименко Анатолій Семенович, Шустов Юрій Михайлович
МПК: G01R 31/265, G01N 13/00, G01N 27/00 ...
Мітки: метал-діелектрик-напівпровідник, спосіб, локальних, поверхні, виявлення, дефектів, електричної, активних, структурах, напівпровідника
Формула / Реферат:
Спосіб виявлення локальних електрично активних дефектів на поверхні напівпровідника в структурах метал - діелектрик - напівпровідник (МДН), за яким по структурі, до якої прикладена напруга інвертуючої полярності, сканують електронним або фотонним променем з енергією, достатньою для генерації носіїв заряду на поверхні напівпровідника, а реєстрацію електрично активних дефектів проводять по зміні струму, наведеного електронним або фотонним...