Патенти з міткою «рельєфно-фазових»

Номер патенту: 100965

Опубліковано: 25.08.2015

Автори: Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Минько Віктор Іванович, Луканюк Марія Василівна, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G03G 5/10, G03F 7/26, G03F 1/56 ...

Мітки: резистів, структур, літографічних, періодичних, рельєфно-фазових, позитивних, масок, формування, спосіб, шарах, халькогенідних

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних резистів, який включає нанесення на підкладинку шару резисту з неорганічної халькогенідної сполуки, відпал резисту протягом 1-3 годин при температурі від Tg-5 до Tg-15 °C, де Tg - температура розм'якшення даного халькогеніду, експонування резисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду,...

Номер патенту: 99226

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/26, G03F 7/00, G03G 5/00 ...

Мітки: формування, рельєфно-фазових, спосіб, фоторезистів, масок, халькогенідних, шарах, періодичних, структур, літографічних

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних фоторезистів, який включає нанесення на підкладинку шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування фоторезисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду, шляхом проектування на фоторезист зображення відповідного фотошаблона, чи інтерференційного поля, сформованого двома...

Номер патенту: 99200

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович

МПК: G03H 1/00, G03G 5/00, G03F 7/00 ...

Мітки: частоти, рельєфно-фазових, спосіб, періодичних, просторової, структур, записі, подвоєння

Формула / Реферат:

1. Спосіб подвоєння просторової частоти при записі рельєфно-фазових періодичних структур, який включає послідовне нанесення на підкладинку адгезивного шару, допоміжного шару та верхнього шару фоторезисту, формування з фоторезисту інтерференційної літографічної маски періодичної 1D конфігурації певної просторової частоти, селективне травлення через маску допоміжного шару до утворення "грибоподібної" форми поперечного перерізу...

Номер патенту: 87393

Опубліковано: 10.07.2009

Автори: Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович

МПК: G03F 7/00, G03G 5/082, G03H 1/26 ...

Мітки: запису, спосіб, структур, рельєфно-фазових, періодичних

Формула / Реферат:

1. Спосіб запису рельєфно-фазових періодичних структур, що включає нанесення на підкладинку шляхом термічного осадження у вакуумі шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування на фоторезист інтерференційного поля, сформованого двома когерентними світловими пучками в оптичному середовищі рефракційного елемента з показником заломлення n більше 1, і наступне селективне травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як...

Номер патенту: 37749

Опубліковано: 15.05.2001

Автори: Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/26, G03G 5/082, G03F 7/00 ...

Мітки: рельєфно-фазових, запису, голограм, райдужних, спосіб

Текст:

...при якому відновлення допоміжної голограми здійснюється в пропущеному хвильовому полі. Але в деяких випадках шар неор ганічного резисту суттєво поглинає лазерне випромінювання, що призводить до значного зменшення яскравості дійсного зображення, відновленого з допоміжної голограми. Це значно ускладнює або ж навіть робить неможливим другу стадію запис райдужної голограми. Підвищити дифракційну ефективність допоміжної голограми в цьому випадку...

Номер патенту: 9725

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Стронський Олександр Володимирович, Бутенко Михайло Петрович, Лісовський Ігор Петрович, Робур Ігор Йосипович, Індутний Іван Захарович, Романенко Петро Федорович, Євтєєв Сергій Анатольєвич

МПК: G03C 5/00, G02B 5/18, B44F 1/00 ...

Мітки: рельєфно-фазових, матриці, металевої, голограм, отримання, тиражування, cпосіб

Формула / Реферат:

1. Способ получения металлической матри­цы для тиражирования рельефно-фазовых голо-грамм, включающий проектирование на светочувствительный слой подложки интерферен­ционной картины, образованной когерентными ла­зерными пучками, экспонирование, селективное травление светочувствительного слоя до получения рельефно-фазовой голограммы-ориганала, нанесе­ние на рельефно-фазовую голограмму гальваниче­ским осаждением никеля, отделение металлической...