Індутний Іван Захарович

Номер патенту: 109582

Опубліковано: 10.09.2015

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Крючин Андрій Андрійович, Рубіш Василь Михайлович, Індутний Іван Захарович, Бородін Юрій Олександрович, Луканюк Марія Василівна, Минько Віктор Іванович, Петров В'ячеслав Васильович, Гера Едуард Васильович, Данько Віктор Андрійович

МПК: G11B 7/26

Мітки: оригіналу, виготовлення, спосіб, оптично, сигналограми

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає нанесення у вакуумі на дискову підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим гостросфокусованим лазерним пучком, і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як неорганічний фоторезист на основі халькогенідного скла використовують шар...

Номер патенту: 100965

Опубліковано: 25.08.2015

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович, Луканюк Марія Василівна, Індутний Іван Захарович, Данько Віктор Андрійович

МПК: G03F 7/26, G03F 1/56, G03G 5/10 ...

Мітки: халькогенідних, формування, структур, спосіб, літографічних, періодичних, резистів, позитивних, шарах, масок, рельєфно-фазових

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних резистів, який включає нанесення на підкладинку шару резисту з неорганічної халькогенідної сполуки, відпал резисту протягом 1-3 годин при температурі від Tg-5 до Tg-15 °C, де Tg - температура розм'якшення даного халькогеніду, експонування резисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду,...

Номер патенту: 99226

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G03H 1/26, G03F 7/00, G03G 5/00 ...

Мітки: фоторезистів, формування, структур, шарах, рельєфно-фазових, літографічних, халькогенідних, спосіб, масок, періодичних

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних фоторезистів, який включає нанесення на підкладинку шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування фоторезисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду, шляхом проектування на фоторезист зображення відповідного фотошаблона, чи інтерференційного поля, сформованого двома...

Номер патенту: 99200

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Індутний Іван Захарович, Данько Віктор Андрійович, Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович

МПК: G03F 7/00, G03G 5/00, G03H 1/00 ...

Мітки: спосіб, подвоєння, періодичних, структур, записі, просторової, рельєфно-фазових, частоти

Формула / Реферат:

1. Спосіб подвоєння просторової частоти при записі рельєфно-фазових періодичних структур, який включає послідовне нанесення на підкладинку адгезивного шару, допоміжного шару та верхнього шару фоторезисту, формування з фоторезисту інтерференційної літографічної маски періодичної 1D конфігурації певної просторової частоти, селективне травлення через маску допоміжного шару до утворення "грибоподібної" форми поперечного перерізу...

Номер патенту: 58700

Опубліковано: 26.04.2011

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Михайловська Катерина Василівна

МПК: H01L 21/265

Мітки: спосіб, одержання, світловипромінюючого, матеріалу

Формула / Реферат:

1. Спосіб отримання світловипромінюючого матеріалу на основі нанокомпозитних поруватих шарів Si-SiOx, що включає формування шару субоксиду кремнію SiOx (де х £ 2) шляхом осадження SiOx у вакуумі на підкладинку, орієнтовану під кутом 20-80° до напряму потоку осаджуваної речовини і наступного термічного відпалу цього шару при температурі 400-1300 °С в атмосфері інертного газу чи у вакуумі, який відрізняється тим, що після відпалу шар...

Номер патенту: 87393

Опубліковано: 10.07.2009

Автори: Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03G 5/082, G03F 7/00, G03H 1/26 ...

Мітки: рельєфно-фазових, запису, спосіб, періодичних, структур

Формула / Реферат:

1. Спосіб запису рельєфно-фазових періодичних структур, що включає нанесення на підкладинку шляхом термічного осадження у вакуумі шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування на фоторезист інтерференційного поля, сформованого двома когерентними світловими пучками в оптичному середовищі рефракційного елемента з показником заломлення n більше 1, і наступне селективне травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як...

Номер патенту: 33100

Опубліковано: 10.06.2008

Автори: Майданчук Іван Юрійович, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: H01L 21/265

Мітки: одержання, матеріалу, світловипромінювального, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі нанокомпозитних поруватих шарів Si-SiOx, який включає формування шару субоксиду кремнію SiOx (де х £ 2) шляхом осадження SiOx у вакуумі на підкладинку, орієнтовану під кутом 20-80° до напряму потоку осаджуваної речовини, і наступного термічного відпалу цього шару при температурі 400-1300 °С в атмосфері інертного газу чи у вакуумі, який відрізняється тим, що перед відпалом...

Номер патенту: 75793

Опубліковано: 15.05.2006

Автори: Данько Віктор Андрійович, Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович, Майданчук Іван Юрійович

МПК: H01L 21/265

Мітки: основі, матеріалу, кремнію, одержання, світловипромінювального, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі кремнію, який включає осадження в вакуумі на підкладку шару субоксиду кремнію SiOx, де х менше 2 і наступного термічного відпалу цього шару при підвищеній температурі в атмосфері інертного газу або у вакуумі, який відрізняється тим, що під час осадження шару SiOx підкладку орієнтують під кутом від 20 до 80 градусів між нормаллю до підкладки і напрямком потоку осаджуваної...

Номер патенту: 75377

Опубліковано: 17.04.2006

Автори: Михайловська Катерина Василівна, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G01J 5/00, C23C 14/00, G01J 5/20 ...

Мітки: болометрів, неохолоджуваних, одержання, спосіб, термочутливої, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів, що включає нанесення у вакуумі на підкладку шару діелектрика, який відрізняється тим, що термочутливу плівку одержують методом термічного співвипаровування у вакуумі суміші порошків або високочастотним магнетронним розпиленням мішені, що містить монооксид кремнію SiO і принаймні один метал, вибраний з ряду Ті, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Y, Zr, Mo, Та, W, Се або їх сплав,...

Номер патенту: 58558

Опубліковано: 15.08.2003

Автори: Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович, Михайловська Катерина Василівна

МПК: H01J 9/227

Мітки: чорної, матриці, спосіб, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення чорної матриці на екрані кольорової електронно-променевої трубки, при якому чорне покриття наносять у вигляді просторово-неоднорідного шару шляхом термічного напилення в вакуумі металодіелектричної суміші, формують в ньому отвори для люмінофорів шляхом прямої фотолітографії, який відрізняється тим, що для одержання чорного покриття беруть металодіелектричну суміш складу (SiO)xMe100-х, де Me - принаймні один метал з ряду...

Номер патенту: 37749

Опубліковано: 15.05.2001

Автори: Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03G 5/082, G03H 1/26, G03F 7/00 ...

Мітки: райдужних, запису, спосіб, голограм, рельєфно-фазових

Текст:

...при якому відновлення допоміжної голограми здійснюється в пропущеному хвильовому полі. Але в деяких випадках шар неор ганічного резисту суттєво поглинає лазерне випромінювання, що призводить до значного зменшення яскравості дійсного зображення, відновленого з допоміжної голограми. Це значно ускладнює або ж навіть робить неможливим другу стадію запис райдужної голограми. Підвищити дифракційну ефективність допоміжної голограми в цьому випадку...

Номер патенту: 28593

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович, Михайловська Катерина Василівна

МПК: H01J 9/227

Мітки: екрані, спосіб, кольорової, виготовлення, матриці, трубки, світлопоглинаючої, електронно-променевої

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення світлопоглинаючої матриці на екрані кольорової електронно-променевої трубки, при якому світлопоглинаюче покриття наносять у вигляді просторово-неоднорідного шару, який одержують термічним випаровуванням у вакуумі дрібнодисперсної суміші на основі SiOxCr100-x, де  (мас.%), формують в ньому отвори для люмінофорів методом прямої фотолітографії, який...

Номер патенту: 22488

Опубліковано: 03.03.1998

Автори: Індутний Іван Захарович, Михайловська Катерина Василівна, Шепелявий Петро Євгенович, Робур Ігор Йосипович, Шутовський Владіслав Володимирович

МПК: H01J 29/88, H01J 9/20

Мітки: внутрішнього, провідного, покриття, виготовлення, кінескопа, кольорового, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення внутрішнього провідного покриття кольорового кінескопа, який включає термічне напилення в вакуумі на конусну частину кінескопа металомісткого матеріалу, який відрізняється тим, що як металомісткий матеріал використовують дрібнодисперсну суміш SiOxMn100-x при 30≤x≤50 мас.%, яку нагрівають спочатку до температури сублімації Μn і доводять її до температури сублімації SiO.

Номер патенту: 9132

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Кожинова Ірина Анатольєвна, Стронський Олександр Володимирович, Лукін Анатолій Васильович, Робур Ігор Йосифович, Індутний Іван Захарович, Камардін Юрій Борисович, Кудрявцева Наталія Олександрівна, Саттаров Фелікс Абдулнурович, Костишин Максим Тимофійович, Романенко Петро Федорович

МПК: G03H 1/18, G02B 5/32

Мітки: виготовлення, граток, голографічних, спосіб, дифракційних

Формула / Реферат:

Способ получения голографических дифрак­ционных решеток, включающий нанесение на под­ложку адгезионного слоя, слоя трехселенистого мышьяка, экспонирование интерференционной картины, образованной когерентными пучками лазерного излучения, селективное травление в растворе, содержащем этилендиамин и раствори­тель в течение времени t = to exp(kn), где to - время полного стравливания слоя трехселенистого мышья­ка, k - коэффициент...

Номер патенту: 9725

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Євтєєв Сергій Анатольєвич, Лісовський Ігор Петрович, Бутенко Михайло Петрович, Індутний Іван Захарович, Стронський Олександр Володимирович, Романенко Петро Федорович, Робур Ігор Йосипович

МПК: B44F 1/00, G02B 5/18, G03C 5/00 ...

Мітки: рельєфно-фазових, отримання, тиражування, cпосіб, голограм, металевої, матриці

Формула / Реферат:

1. Способ получения металлической матри­цы для тиражирования рельефно-фазовых голо-грамм, включающий проектирование на светочувствительный слой подложки интерферен­ционной картины, образованной когерентными ла­зерными пучками, экспонирование, селективное травление светочувствительного слоя до получения рельефно-фазовой голограммы-ориганала, нанесе­ние на рельефно-фазовую голограмму гальваниче­ским осаждением никеля, отделение металлической...

Номер патенту: 8318

Опубліковано: 29.03.1996

Автори: Індутний Іван Захарович, Сопінський Микола Вікторович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: H05K 3/06

Мітки: зображення, металізованого, спосіб, виготовлення, позитивного

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення позитивного ме­талізованого зображення, що включає нанесення на підкладку основного шару металу, покриття його фоторезистивною структурою, яка скла­дається з послідовно розміщених металевого, бар'єрного шарів та шару неорганічної речовини, здатних взаємодіяти між собою при опроміненні актинічним світлом, експонування, видалення ек­спонованих ділянок, травлення основного шару в вікнах захисної маски, який відрізняється...

Номер патенту: 7443

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Романенко Петро Федорович, Індутний Іван Захарович, Робур Ігор Йосифович, Стронський Олександр Володимирович

МПК: G02B 5/32, G03H 1/18

Мітки: дифракційних, спосіб, граток, виготовлення, голографічних

Формула / Реферат:

Способ получения голографических дифрак­ционных решеток, включающий нанесение на под­ложку адгезионного слоя, слоя трсхселенистого мышьяка, экспонирование интерференционной картины, образованной когерентными пучками лазер­ного излучения, селективное травление в растворе, содержащем этилендиамин и растворитель, в тече­ние времени t = t0exp(kn), где t0 - время полного стравливания слоя трсхселенистого мышьяка, k -коэффициент пропорциональности,...

Номер патенту: 4737

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Романенко Петро Федорович, Індутний Іван Захарович, Робур Ігор Йосипович, Стронський Олександр Володимирович

МПК: G02B 5/18, G03H 1/18

Мітки: голографічних, спосіб, решіток, дифракційних, одержання

Формула / Реферат:

Способ получения топографических дифракционных решеток на светочувствительных системах As2Se3-As2S3-Ag включающий экспонирование указанной среды интерференционной картиной, образованной когерентными пучками излучения аргонового лазера, селективное травление в течение времениt=toexp(kn),где to ~ время полного стравливания слоя As2Se3, в растворе травителя,n - отношение содержания компонент раствора растворителя к...