Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору

Номер патенту: 66947

Опубліковано: 25.01.2012

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, Нікешин Юрій Ігорович

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору, який містить котушку індуктивності і ємність, яка підключена до джерела живлення, який  відрізняється тим, що в нього введено чотири зонди, друге джерело живлення, два резистори, біполярний транзистор, який з'єднаний з котушкою індуктивності та другим джерелом живлення, та польовий транзистор, до якого підключені другий та третій зонди, крім того ємність підключена до другого джерела живлення, а перший та четвертий зонди під'єднані до першого джерела живлення, перший резистор з'єднаний з котушкою індуктивності, а другий резистор з'єднаний спільною шиною.

Текст

Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору, який містить котушку індуктивності і ємність, яка підк 3 джерелом живлення, ємність з'єднана з другим джерелом живлення. На кресленні представлена схема мікроелектронного чотиризондового пристрою для вимірювання напівпровідникового опору. Пристрій містить чотири зонди 1, 2, 3, 4 відповідно, причому перший 1 та четвертий 4 з'єднані з першим джерелом живленням 5 та польовим транзистором 8, друге джерело живлення 12 з'єднано з ємністю 11 та котушкою індуктивності 10, перший і другий резистори 6, 7 кожний з яких з'єднаний з загальною шиною, ємність 11, яка з'єднана з котушкою 10 та загальною шиною, польовий транзистор 8 з'єднаний з біполярним транзистором 9 та з загальною шиною. Вихід пристрою утворений стоком біполярного транзистора 9 і загальною шиною. Пристрій працює наступним чином. В початковий момент часу живлення відсутнє і опір не вимірюється. Через перший 6 та другий 7 резистори здійснюється електричний режим живлення пристрою від другого джерела живлення 12 на другий Комп’ютерна верстка Л. Купенко 66947 4 2 та третій 3 зонди. Перше джерело живлення 5 діє напряму з першим 1 та четвертим 4 зондами. Ємність 11 запобігає проходженню змінного струму через друге джерело живлення 12. Підвищення напруги другого джерела постійної напруги 12 до величини, коли на електродах стоку польового транзистора 8 і емітера біполярного транзистора 9 виникає додатній опір, який приводить до виникнення електричних коливань в контурі, який утворений паралельним включенням повного опору з ємнісним характером на електродах стік-колектор польового транзистора 8 і біполярного транзистора 9 та котушкою індуктивності 10. При наступному вимірі опору, передається і приймається по чотирьох зондах 1, 2, 3, 4, при цьому змінюється вихідна напруга на чотирьох зондах 1, 2, 3, 4, яка також змінює ємнісну складову повного опору ємності 11 на електродах стік-колектор польового транзистора 8 і біполярного транзистора 9, а це викликає зміну резонансної частоти коливального контуру. Підписне Тираж 23 прим. Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance

Автори англійською

Osadchuk Oleksandr Volodymyrovych, Nikeshyn Yurii Ihorovych

Назва патенту російською

Микроэлектронное четырех-зондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления

Автори російською

Осадчук Александр Владимирович, Никешин Юрий Игоревич

МПК / Мітки

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Мітки: мікроелектронний, пристрій, вимірювання, опору, чотиризондовий, напівпровідникового

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-66947-mikroelektronnijj-chotirizondovijj-pristrijj-dlya-vimiryuvannya-napivprovidnikovogo-oporu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору</a>

Подібні патенти