Багатозондовий модуль для скануючого мікроскопа

Багатозондовий модуль для скануючого мікроскопа, що містить касету із зондами, з'єднану із приводом обертання, закріпленим на основі, зв'язаний із приводом обертання трубчастий п'єзосканер, що містить фланець та одним кінцем закріплений на основі, при цьому касета виконана у 3 40936 4 [див. Патент RU 2306524, пуб. 20.09.2007 p., 15 і захвата 16. При цьому на фланці може бути MnKGOl В 5/28]. закріплена циліндрична пружина стискання 17 з Перший недолік цього пристрою полягає в томожливістю взаємодії із кронштейном 13 і підтисму, що підтискання кронштейнів із зондами здійскання його до обойми 18. Одночасно на фланці 10 нюється за допомогою плоских пружин вигину. за допомогою гвинтів 19 установлені стійкі 20, на Пружини такого типу мають нелінійні характерисяких закріплений контактний елемент 21 з контактики коефіцієнта пружності, а також, внаслідок тними площадками (не показані). Кварцові резонабільшої схильності до природного відпускання, у тори 12 установлені таким чином, що можливе процесі експлуатації не забезпечують необхідного здійснення електричного з'єднання їхніх виводів 22 ступеня притискання кронштейнів із зондами до з контактними площадками елемента 21. обойми. Використання пружин вигину також усклаНа фланці 10 установлений також штовхач 23, днює процес ремонту. виконаний, наприклад, у вигляді обойми 18 з упоДругий недолік цього пристрою полягає у виром 24. При цьому упор 24 у вигляді кульки закріпкористанні штовхача у вигляді кульки або ролика лений в обоймі 18. Зверху кулька зафіксована жорстко пов'язаних з віссю обойми. У момент зіткшайбою (не показана), внутрішній діаметр якої нення кульки або ролика із кронштейном, на менше діаметра кульки, а знизу підпружинена циостанній здійснюється велике ударне динамічне ліндричною пружиною стискання 25, пружність якої навантаження, що призводить до зниження надійвдвічі більша ніж у пружини 17. Обойма 18 устаноності роботи пристрою. влена у фланці 10 і сполучена із приводом оберТехнічний результат корисної моделі полягає в тання 26, закріпленим на основі 27. Це сполучення підвищенні надійності пристрою і спрощення проздійснене за допомогою захвата 28, розташованоцесу його ремонту. го з можливістю взаємодії зі шліцом 29, виконаним Зазначений технічний результат досягається у перехіднику 30, з'єднаному зі штоком 31 привода тим, що багатозондовому модулі для скануючого 26. В основі 27 може бути встановлена напрямна мікроскопа, що містить касету із зондами, з'єднану 32 з можливістю взаємодії з перехідником 30. При із приводом обертання, закріпленим на основі, цьому напрямна 32 може бути закріплена в основі зв'язаний із приводом обертання трубчастий п'є27 за допомогою своїх буртиків 33 і через пружний зосканер, що містить фланець та одним кінцем елемент 34, що може бути підтиснутий приводом закріплений на основі, при цьому касета виконана 26. у вигляді набору кронштейнів із зондами, виконаБазовий елемент 4 може бути з'єднаний з осних у вигляді кварцових резонаторів з вістрями та новою 27 за допомогою стійок 35. установлених на фланці з можливістю руху відноБагатозондовий модуль 36 (Фіг.З) у складі сно нього й взаємодії зі штовхачем, пружину стисСЗМ 37 може бути встановлений на блок поперекання, закріплену одним кінцем на фланці, а іншим днього суміщення 38 і сполучений касетою із зонна кронштейні, згідно корисної моделі, пружина дами 39 з об'єктом вимірювання 40. стискання виконана циліндричною з лінійними хаП'єзосканер, кварцові резонатори (за допоморактеристиками коефіцієнта пружності, а штовхач гою контактного елемента) і привод обертання виконаний у вигляді платформи, у порожнині якої підключені до блоку керування СЗМ (окремо не розташовані кульки, підпружинені знизу додатково показаний). введеними пружинами стискання та розміщені під Пристрій працює в такий спосіб. Обертаючи кутом 120 градусів відносно один одного та з можобойму 18 (Фіг.1), приводом 26 піднімають один із ливістю взаємодії із кронштейнами, при цьому кронштейнів 10 упором таким чином, що вістря 14 кульки зафіксовані шайбами, внутрішній діаметр опиняється вище рівня інших вістер. При цьому яких менше діаметра кульок. виводи 22 кварцових резонаторів 12 торкаються Сутність корисної моделі пояснюється кресконтактних площадок елемента 21.3 блоку керуленнями, де: вання СЗМ подають змінну напругу на вводи 22 на Фіг.1 зображений багатозондовий модуль кварцових резонаторів 12, збуджуючи їх на власній для скануючого мікроскопа, частоті. Після цього здійснюють зближення вістря на Фіг.2 зображений варіант виготовлення 14 з об'єктом. Після зближення проводять скануштовхача. вання поверхні об'єкта 40. Докладніше роботу квана Фіг.3 зображений багатозондовий модуль у рцових резонаторів в якості зондів скануючих мікскладі СЗМ. роскопів здійснюють відомим шляхом. (Наприклад, Запропонований багатозондовий модуль для див. патент RU 2008763, 2003 p., патент RU скануючого мікроскопа містить трубчастий п'єзо2251071, 2005р.) сканер 1, що складається з першої п'єзотрубки 2, Після завершення роботи одним зондом, назакріпленої першим кінцем 3 на базовому елеменприклад після виходу його з ладу, здійснюють відті 4. Другий кінець 5 першої п'єзотрубки 2 за доповедення об'єкта 40 від вістря 14. Далі обертають могою перехідника 6 з'єднаний з першим кінцем 7 обойму 18 і піднімають наступне вістря, після чого другої п'єзотрубки 8, на другому кінці 9 якої закріппроцес повторюють. лений фланець 10. На фланці 10 установлена каВикористання циліндричної пружини стискання сета 11 із зондами 12, що складається з набору з лінійними характеристиками коефіцієнта пружнокронштейнів 13, у яких ці зонди можуть бути закрісті для притискання кронштейнів із зондами до плені за допомогою клею. обойми збільшує надійність конструкції та підвиЗонди 12 виконані у вигляді кварцових резонащує її ремонтопридатність. торів з вістрями 14. Кронштейни 13 (Фіг.2) устаноВикористання додатково введеної циліндричвлені на фланці 10 (шарнірно) за допомогою вісі ної пружини стискання для підпружинювання упо 5 40936 6 ру у вигляді кульки, яка закріплена в обоймі, зниКорисна модель може знайти широке викорисжує ударне динамічне навантаження на кронштейн тання в області нанотехнологічного обладнання, а із зондами, що підвищує довготривалість викориссаме, у скануючої зондової мікроскопії. тання пристрою. Комп’ютерна верстка Г. Паяльніков Підписне Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601