Спосіб локального нанесення покриттів у вакуумі

Способ локального нанесения покрытий в вакууме, основанный на наложении вакуумной камеры на участок обрабатываемого изделия и распылении материала ионной бомбардировкой, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что после наложения вакуумной камеры с противоположной стороны изделия устанавливают дополнительную вакуумную камеру осесимметрично первой, после чего проводят одновременное вакуумирование замкнутых объемов, а после р а с п ы л е н и я материала покрытия проводят одновременное развакуумирование камер. Изобретение относится к области вакуумной технологии нанесения покрытий и может быть использовано для локального нанесения покрытия на хрупкие, нежесткие изделия, размеры которых превышают размеры камеры, и для металлизации сквозных отверстий. Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет обеспечения локального нанесения покрытия на изделия со сквозными отверстиями, а также на хрупкие, гибкие изделия. Поставленная цель достигается тем, что в способе, включающем создание в области покрываемого участка изделия замкнутого объема, наложение вакуумной камеры открытой ее частью на покрываемый участок, с противоположной стороны покрываемого участка создают второй такой же замкнутый объем путем наложения второй камеры открытой ее частью на покрываемый участок, одновременно вакуумируют оба замкнутых объема, осуществляют нанесение покрытия ионной бомбардировкой на одну или обе поверхности изделия из источников испаряемого материала, расположенных в одном или обоих замкнутых объемах, после чего осуществляют развакуумирование замкнутых объемов одновременно, и камеры удаляют. Формирование замкнутых объемов с помощью накладных камер с обеих сторон покрываемого участка изделия и одновременное вакуумирование этих камер позволяют исключить разрушение или деформацию хрупких или гибких изделий и обеспечивает возможность нанесения покрытий на участок изделия со сквозными отверстиями без помещения всего изделия в камеру. Предложенный способ поясняется блоксхемой, изображенной на чертеже, где показаны накладные вакуумные камеры 1,2 с открытой стенкой с одной стороны; длинномерное изделие 3 со сквозными отверстиями 4 и покрываемыми участками 5 и 6; С > сл ел с» о 15582 эластичные прокладки 7, источники 8, 9 испаряемого материала; система откачки и напуска газа 10. П р и м е р . Накладные вакуумные камеры 1 и 2 устанавливаются открытой частью на покры&аемые участки 5 и 6 изделия 3 со сквозными отверстиями 4. Имеющиеся между изделием и камерами эластичные прокладки 7 повторяющие с одной стороны кривизну поверхности изделия, с другой кривизну стенок камеры, позволяют создать вокруг покрываемых участков два герметичных замкнутых объема. После установки накладных камер их объемы одновременно вакуумируют с помощью системы откачки и напуска 10, при этом в результате перепада давлений камеры 1, 2 плотно прижимаются к поверхности изделия. По достижении в ^камерах давления порядка (0,133-1,33)-10" Па напускают рабочий газ, например, аргон, до давления 0,6-0,8 Па. Покрытие осаждают из источников 8,9 испаряемого материала путем распыления материала ионной бом-> бардировкой. 5 10 15 20 25 Для получения покрытия на двух сторонах изделия и для покрытия сквозных отверстий распыление ведут одновременно или последовательно из источников, расположенных в обеих камерах. Распыление материала покрытия из меди осуществлялось планарным магнетроном постоянного "тока при напряжении 450 В, токе разряда до ЗА, скорости осаждения 1520 нм/с. По достижении необходимой толщины напыляемого слоя, которая определяется временем распыления, замкнутые объемы одновременно развакуумируют до атмосферного давления, и накладные камеры удаляют. Применение способа позволяет локально наносить односторонние и двусторонние покрытия на хрупкие, нежесткие изделия, металлизировать сквозные отверстия без помещения всего изделия в вакуумную камеру, что значительно сокращает длительность и стоимость обработки в случае обработки крупногабаритных или длинномерных изделий. J 15582 9 6. \ 10 V*4 * A И v r V\ І \ I ҐІ \ •V ! HXHO «-«іччі J Упорядник Замовлення 4191 Техред М.Моргентал bi in»» m