Патенти з міткою «автоемісійних»
Спосіб виготовлення двоелектродних автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірів
Номер патенту: 34271
Опубліковано: 11.08.2008
Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Голота Віктор Іванович
МПК: H05K 3/00
Мітки: виготовлення, розмірів, двоелектродних, кремнієвих, катодів, спосіб, автоемісійних, субмікронних
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення двоелектродних автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірів, який включає формування вістер катодів шляхом термічного окислення поверхні кремнію, фотолітографії, ізотропного сухого травлення, загострення вістер окисленням та мокрим травленням, селективного покриття катодів захисною плівкою, який відрізняється тим, що по одній технології отримують одношпильові, багатошпильові або лезоподібні катоди з...