Патенти з міткою «багатодолинних»
Спосіб визначення залишкових механічних напружень в багатодолинних напівпровідникових кристалах
Номер патенту: 31782
Опубліковано: 15.12.2000
Автори: Єрмаков Валерій Миколайович, Демчина Любомир Андрійович, Венгер Євген Федорович, Коломоєць Володимир Васильович, Будзуляк Сергій Іванович, Доценко Юрій Павлович
Мітки: залишкових, напружень, багатодолинних, напівпровідникових, спосіб, визначення, кристалах, механічних
Текст:
...простого, більш точного та більш досконалого, в порівнянні з існуючими аналогами, способу визначення залишкових механічних напружень в кристалах багатодолинних напівпровідників, що виникають в процесі їх вирощування, змін в результаті проведення різного роду технологічних відпалів або в результаті іншого впливу на напівпровідниковий матеріал Вирішення цієї задачі здійснюється шляхом проведення вимірів зміни поздовжнього опору пари зразків...