Патенти з міткою «деформаційними»
Спосіб твердофазного легування поверхневого шару напівпровідників а2в6 елементами групи а3 деформаційними та ударними хвилями, генерованими наносекундними імпульсами лазера у рідкому середовищі
Номер патенту: 118036
Опубліковано: 25.07.2017
Автори: Левицький Сергій Миколайович, Гнатюк Володимир Анастасійович, Власенко Олександр Іванович, Тору Аокі
МПК: H01L 21/00, C30B 11/00
Мітки: наносекундними, деформаційними, легування, ударними, генерованими, шару, групи, поверхневого, спосіб, середовищі, імпульсами, а2в6, хвилями, рідкому, лазера, напівпровідників, елементами, твердофазного
Формула / Реферат:
Спосіб твердофазного легування поверхневого шару напівпровідників А2В6 елементами А3, що включає нанесення на поверхню кристала плівки легуючого елемента, товщина якої більша за глибину проникнення теплової хвилі, але менша за глибину утворення ударної хвилі при імпульсному лазерному опроміненні, та опромінення її наносекундними лазерними імпульсами, який відрізняється тим що плівку легуючого елемента опромінюють у рідині, прозорій для...