Патенти з міткою «фосфора»
Спосіб гасіння і дезактивації фосфора і його сполук
Номер патенту: 29217
Опубліковано: 10.01.2008
Автор: Тузяк Віра Євгенівна
МПК: A62D 3/00
Мітки: сполук, спосіб, фосфора, гасіння, дезактивації
Формула / Реферат:
Спосіб гасіння і дезактивації фосфору і його сполук, який характеризується тим, що пожежогасіння здійснюють вапняним "молоком" - водним розчином гідроксиду кальцію Са(ОН)2.
Спосіб виготовлення твердих планарних джерел для дифузії фосфора
Номер патенту: 13520
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Гасько Любомир Захарович, Бідник Дмитро Ілліч, Воронін Валерій Олександрович, Богдановський Юрій Миколайович, Саваневський Володимир Григорович, Сарапін Ярослав Миколайович
МПК: H01L 21/225
Мітки: джерел, фосфора, твердих, дифузії, виготовлення, планарних, спосіб
Формула / Реферат:
Способ изготовления твердых планарных источников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости источников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диффузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.