Сарапін Ярослав Миколайович
Спосіб виготовлення твердих планарних джерел для дифузії фосфора
Номер патенту: 13520
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Гасько Любомир Захарович, Сарапін Ярослав Миколайович, Богдановський Юрій Миколайович, Бідник Дмитро Ілліч, Воронін Валерій Олександрович, Саваневський Володимир Григорович
МПК: H01L 21/225
Мітки: фосфора, джерел, спосіб, виготовлення, твердих, планарних, дифузії
Формула / Реферат:
Способ изготовления твердых планарных источников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости источников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диффузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.