Патенти з міткою «планарних»

Спосіб виготовлення твердих планарних джерел для дифузії фосфора

Завантаження...

Номер патенту: 13520

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Гасько Любомир Захарович, Саваневський Володимир Григорович, Бідник Дмитро Ілліч, Воронін Валерій Олександрович, Богдановський Юрій Миколайович, Сарапін Ярослав Миколайович

МПК: H01L 21/225

Мітки: планарних, виготовлення, дифузії, джерел, твердих, спосіб, фосфора

Формула / Реферат:

Способ изготовления твердых планарных ис­точников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения стойкости ис­точников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диф­фузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.