Патенти з міткою «гетеропереходу»

Номер патенту: 14605

Опубліковано: 20.01.1997

Автори: Коломоєць Володимир Васильович, Демчина Любомир Андрійович, Єрмаков Валерій Миколайович, Вознюк Євгеній Федорович, Литовченко Володимир Григорович, Бобицький Ярослав Васильович, Корбутяк Дмитро Васильович

МПК: H01L 31/00, H01L 21/04

Мітки: гетеропереходу, напівпровідника, шаруватого, виготовлення, основі, спосіб

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления гетероперехода на ос­нове слоистого полупроводника, включающий ме­ханический прижим монокристаллической пластины или пленки слоистого полупроводника к подложке, отличающийся тем, что слоистый полу­проводник предварительно облучают одиночным импульсом технологического лазера в месте пред­полагаемого расположения электрического кон­такта, на это место наносят металл с соответству­ющей работой выхода, отслаивают по...