Патенти з міткою «контактно-металізованої»

Номер патенту: 8485

Опубліковано: 30.09.1996

Автор: Новосядлий Степан Петрович

МПК: H01L 21/28

Мітки: формування, спосіб, контактно-металізованої, тонкоплівкових, інтегральних, схем, системі, елементів

Формула / Реферат:

Способ формирования контактно-металлизированной системы тонкоплсночных элементов интегральных схем, включающий очистку под­ложки, нанесение методом напыления резистивной пленки из сплавов керметных материалов, пленки никеля или алюминия для контактных площадок и металлизации, создание топологии ре­зисторов, токоведущих шин и контактных площа­док методом фотолитографии, отличающийся тем, что, с целью уменьшения величины и повы­шения...

Номер патенту: 4675

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Когут Ігор Тимофійович, Новосядлий Степан Петрович, Бірковий Юрій Леонідович

МПК: H01L 21/28

Мітки: схемах, формування, спосіб, інтегральних, системі, контактно-металізованої

Формула / Реферат:

(57) 1. Способ формирования контактно-метализированной системы в интегральных схемах, включающий нанесение на обратную сторону подложки с активными структурами слоя поликристаллического кремния, формирование с помощью фотолитографии U-образного рельефа на обратной стороне, снятие фоторезиста, формирование полицидной пленки на обратной стороне под ложки с последующей термообработкой, формирование уровня металлизации на лицевой стороне...