Патенти з міткою «плазмохімічної»

Номер патенту: 31602

Опубліковано: 10.04.2008

Автори: Савицький Антон Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: обробки, плазмохімічної, спосіб, матеріалів

Формула / Реферат:

Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів, який полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення в реакторі високочастотного електричного поля напруженістю Е, яке зумовлює появу хімічно активних частинок плазми концентрацією N, пластини розташовують у спеціальних касетах на відстані h одна від одної, який...

Номер патенту: 14092

Опубліковано: 25.04.1997

Автор: Семенюк Валерій Федорович

МПК: C23C 14/34

Мітки: спосіб, плазмохімічної, обробки, підкладок

Формула / Реферат:

Способ плазмохимической обработки подло­жек, включающий воздействие на подложку хими­чески активных нейтральных частиц и потоков заряженных частиц, генерацию которых осущест­вляют в физически разделенных областях, отлича­ющийся тем, что, с целью увеличения скорости и повышения качества обработки, химически актив­ные нейтральные частицы направляют в радиаль­ном направлении в область приэлектродного слоя объемного заряда у обрабатываемой...

Номер патенту: 227

Опубліковано: 30.04.1993

Автор: Семенюк Валерій Федорович

МПК: H01L 21/26

Мітки: плазмохімічної, обробки, спосіб

Текст:

...В этом случае расходимость потоков сводится к минимуму, что обеспечивает их высокую направленность и интенсивность. На фиг. 1 представлен пример реализации способа, в котором разделяющее магнитное поле, создаваемое системой магнитов 1 из катушек индуктивности, используется также для интенсификации про 10-41 Р. со С о со VI ел 1637596 цесса генерации химически активных нейтральных радикалов в зоне 2; на фиг. 2 - то же, но разделяющее...