Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів
Номер патенту: 31602
Опубліковано: 10.04.2008
Формула / Реферат
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів, який полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення в реакторі високочастотного електричного поля напруженістю Е, яке зумовлює появу хімічно активних частинок плазми концентрацією N, пластини розташовують у спеціальних касетах на відстані h одна від одної, який відрізняється тим, що відстань h між пластинами визначають пропорційно зміні співвідношення E/N.
Текст
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів, який полягає у травленні напівпровідникових пла 3 31602 4 стінок якого закріплюють касети з пластинами 2, касетах, відстань h між якими визначають пропорвідстань h між якими пропорційна зміні співвідноційно зміні співвідношення E/N. шення E/N. В даному реакторі індуктивним або На кресленні (Фіг.) представлена схема реакємнісним способом створюють високочастотне ційної камери, в якій здійснюється даний спосіб. електричне поле напруженістю Е, яке при понижеВона складається з циліндричного реактора 1, ному тиску плазмоутворюючого газу збуджує плаякий служить для збудження ВЧ-розряду 3, до стізму ВЧ-розряду 3, що зумовлює появу хімічно акнок якого закріплені касети з пластинами 2, на тивних частинок плазми концентрацією N. яких пластини розташовані із змінним кроком h. Спосіб здійснюється наступним чином. Травлення проводять в циліндричному реакторі 1, до Комп’ютерна верстка М. Мацело Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюMethod for plasmochemical treatment of materials
Автори англійськоюKravchenko Yurii Stepanovych, Savytskyi Anton Yuriiovych
Назва патенту російськоюМетод плазмохимической обработки материалов
Автори російськоюКравченко Юрий Степанович, Савицкий Антон Юрьевич
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/302
Мітки: матеріалів, спосіб, плазмохімічної, обробки
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-31602-sposib-plazmokhimichno-obrobki-materialiv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів</a>
Спосіб плазмохімічної обробки
Номер патенту: 227
Опубліковано: 30.04.1993
Автор: Семенюк Валерій Федорович
МПК: H01L 21/26
Мітки: плазмохімічної, обробки, спосіб
Текст:
...В этом случае расходимость потоков сводится к минимуму, что обеспечивает их высокую направленность и интенсивность. На фиг. 1 представлен пример реализации способа, в котором разделяющее магнитное поле, создаваемое системой магнитов 1 из катушек индуктивности, используется также для интенсификации про 10-41 Р. со С о со VI ел 1637596 цесса генерации химически активных нейтральных радикалов в зоне 2; на фиг. 2 - то же, но разделяющее...
Спосіб плазмохімічної обробки підкладок
Номер патенту: 14092
Опубліковано: 25.04.1997
Автор: Семенюк Валерій Федорович
МПК: C23C 14/34
Мітки: плазмохімічної, спосіб, підкладок, обробки
Формула / Реферат:
Способ плазмохимической обработки подложек, включающий воздействие на подложку химически активных нейтральных частиц и потоков заряженных частиц, генерацию которых осуществляют в физически разделенных областях, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости и повышения качества обработки, химически активные нейтральные частицы направляют в радиальном направлении в область приэлектродного слоя объемного заряда у обрабатываемой...
Пристрій для обробки твердих, рідких та /або газоподібних матеріалів, спосіб обробки отверджуваних мас, спосіб обробки багатофазових стійких середовищ та спосіб обробки газів
Номер патенту: 43313
Опубліковано: 17.12.2001
Автор: ХОВОРКА ФРАНЦ
Мітки: середовищ, рідких, стійких, спосіб, газів, багатофазових, обробки, або, мас, твердих, матеріалів, пристрій, газоподібних, отверджуваних
Формула / Реферат:
1. Устройство для обработки твердых, жидких и/или газообразных материалов, содержащее активатор, оборудованный по меньшей мере тремя коаксиально установленными встречно вращающимися рядами лопаток с примыкающими к ним ударными лопатками, причем линейная скорость движения по окружности крайних рядов лопаток составляет от 70 м/с до 160 м/с, отличающееся тем, что лопатки расположены с шириной рядов, уменьшающейся в направлении наружу минимально...
Спосіб обробки матеріалів високим тиском і температурою і комірка високого тиску пристрою для синтезу надтвердих композиційних матеріалів при високих тисках і температурах для його здійснення
Номер патенту: 77833
Опубліковано: 15.01.2007
Автори: Боримський Олександр Іванович, Фесенко Ігор Павлович, Петруша Ігор Андрійович, Сербенюк Тетяна Богданівна, Мощіль Віктор Євгенович, Пріхна Тетяна Олексіївна, Соколов Олександр Олександрович, Сергієнко Ніна Віталіївна, Нагорний Петро Арсенович, Свердун Володимир Богданович
Мітки: синтезу, комірка, здійснення, високих, пристрою, спосіб, тиском, високим, температурах, високого, тиску, тисках, надтвердих, обробки, матеріалів, температурою, композиційних
Формула / Реферат:
1.Спосіб обробки матеріалів високим тиском і температурою, згідно з яким здійснюють обробку матеріалу у комірці високого тиску з нагрівачем, що передає тиск від жорстких стискаючих елементів, який відрізняється тим, що використовують комірку високого тиску, один або декілька елементів якої виконані з нітриду алюмінію.2. Комірка високого тиску пристрою для синтезу надтвердих композиційних матеріалів при високих тисках і температурах, що...
Спосіб електроімпульсної обробки волокнистих матеріалів
Номер патенту: 72027
Опубліковано: 17.01.2005
Автор: Платонов Микола Олександрович
МПК: D21C 1/00, D06M 10/00, D01B 3/00
Мітки: електроімпульсної, обробки, матеріалів, спосіб, волокнистих
Формула / Реферат:
1. Спосіб електроімпульсної обробки волокнистих матеріалів, що включає готування суспензії вибраного волокнистого матеріалу в придатному за хімічним складом рідкому середовищі, обробку отриманої суспензії щонайменше одним імпульсним електричним розрядом, що пропускають між щонайменше двома електродами, які занурені в рідке середовище, і відділення обробленого волокна від рідкого середовища і побічних продуктів обробки, який відрізняється...
Попередній патент: Акустична антена
Наступний патент: Мікроелектронний пристрій для виміру оптичного випромінювання
Випадковий патент: Похідні піколінаміду, спосіб їх одержання, проміжні сполуки, гербіцидна композиція, спосіб боротьби з небажаною рослинністю