Патенти з міткою «виявленя»
Спосіб виявленя локальних джерел тепловиділення в зразках кристалів інтегральних схем та напівпровідникових приладів
Номер патенту: 77499
Опубліковано: 15.12.2006
Автори: Поканевич Олексій Платонович, Попов Володимир Михайлович, Мошель Микола Васильович, Клименко Анатолій Семенович
МПК: G01R 3/00, H01L 21/66, G01N 13/00 ...
Мітки: спосіб, зразках, інтегральних, кристалів, тепловиділення, схем, виявленя, локальних, джерел, приладів, напівпровідникових
Формула / Реферат:
1. Спосіб виявлення локальних джерел тепловиділення в зразках кристалів інтегральних схем та напівпровідникових приладів, за яким на контрольовану поверхню зразка кристала наносять тонку плівку холестеричного рідкого кристала, зразок закріплюється на нагріваному тримачі з терморегулятором і підключається до джерела електричного живлення, а локальні джерела тепловиділення виявляють за оптичними зображеннями в поляризаційному мікроскопі...