Патенти з міткою «виявленя»

Спосіб виявленя локальних джерел тепловиділення в зразках кристалів інтегральних схем та напівпровідникових приладів

Завантаження...

Номер патенту: 77499

Опубліковано: 15.12.2006

Автори: Поканевич Олексій Платонович, Попов Володимир Михайлович, Мошель Микола Васильович, Клименко Анатолій Семенович

МПК: G01R 3/00, H01L 21/66, G01N 13/00 ...

Мітки: спосіб, зразках, інтегральних, кристалів, тепловиділення, схем, виявленя, локальних, джерел, приладів, напівпровідникових

Формула / Реферат:

1. Спосіб виявлення локальних джерел тепловиділення в зразках кристалів  інтегральних схем та напівпровідникових приладів, за яким на контрольовану поверхню зразка кристала наносять тонку плівку холестеричного рідкого кристала, зразок закріплюється на нагріваному тримачі з терморегулятором і підключається до джерела електричного живлення, а локальні джерела тепловиділення виявляють за оптичними зображеннями в поляризаційному мікроскопі...