Белей Мирон Іванович

Спосіб отримання епітаксійних плівок (snте)х

Завантаження...

Номер патенту: 25786

Опубліковано: 30.10.1998

Автори: Варшава Славомир Степанович, Белей Мирон Іванович, Фреїк Дмитро Михайлович, Байцар Роман Іванович, Шепетюк Володимир Андрійович

МПК: C30B 29/46

Мітки: спосіб, плівок, отримання, snте)х, епітаксійних

Формула / Реферат:

Спосіб отримання епітаксійних плівок (SnTe)x(PbSe)1-x шляхом нагріву підкладки до температури Tп, випаровування вихідної речовини при Tв, нагріву стінок реактора до Tс, додаткового джерела халькогену до Tд, який відрізняється тим, що як матеріал підкладки використовують BaF2, а як вихідну речовину - суміш компонентів SnTe i PbSe при х = 0,7, причому підкладку нагрівають до Tп = 570 - 630К, суміш компонентів випаровують при Tв = 820К, стінки...