Данилов Миколай Григорович
Спосіб виготовлення структур польових транзисторів з бар’єром шоткі
Номер патенту: 16878
Опубліковано: 29.08.1997
Автори: Данилов Миколай Григорович, Іващук Анатолій Васильович, Кохан Валентин Петрович
МПК: H01L 21/28, H01L 21/70
Мітки: транзисторів, спосіб, бар'єром, шоткі, польових, виготовлення, структур
Формула / Реферат:
Способ изготовления структур полевых транзисторов с барьером Шотки, включающий формирование на полупроводниковой подложке активного и контактного слоев, вытравливание меза-структур, формирование областей истока и стока, вытравливание в области затвора контактного и части активного слоев, формирование барьерной части затворного электрода, формирование контактной части затворного электрода, отличающийся тем, что, с целью уменьшения коэффициента...