Кучук Адріан Володимирович
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 83371
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Кладько Василь Петрович, Голтвянський Юрій Васильович, Нікірін Віктор Андрійович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Кучук Адріан Володимирович, Оберемок Олександр Степанович, Венгер Євген Федорович
МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392
Мітки: спосіб, оксиду, термочутливої, плівки, виготовлення, неохолоджуваних, ванадію, болометрів
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...