Кладько Василь Петрович

Номер патенту: 115174

Опубліковано: 10.04.2017

Автори: Романюк Андрій Борисович, Федулов Віктор Васильович, Оберемок Олександр Степанович, Сафрюк Надія Володимирівна, Мельник Віктор Павлович, Сабов Томаш Мар'янович, Кладько Василь Петрович, Голтвянський Юрій Васильович

МПК: H01L 21/265, H01L 31/18

Мітки: фотодіодів, антимоніді, виготовлення, індію, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення фотодіодів, який включає створення на поверхні антимоніду індію 1-го типу провідності з концентрацією легуючих атомів не більше 3·1015 см-3 локальних областей р-n переходу шляхом імплантації іонів, які дозволяють створити 2-ий тип провідності в приповерхневій області підкладки, нанесення маски за допомогою якої долеговують області 1-го типу провідності до концентрації 1017-1019 см-3, зняття маски, після чого...

Номер патенту: 108190

Опубліковано: 11.07.2016

Автори: Конакова Раїса Василівна, Шеремет Володимир Миколайович, Сафрюк Надія Володимирівна, Сай Павло Олегович, Виноградов Анатолій Олегович, Саченко Анатолій Васильович, Болтовець Микола Силович, Шинкаренко Володимир Вікторович, Кладько Василь Петрович, Бєляєв Олександр Євгенович

МПК: H01L 21/268, H01L 29/45

Мітки: спосіб, контакту, омічного, створення

Формула / Реферат:

Спосіб створення омічного контакту до InN, який включає в себе магнетронне напилювання в єдиному технологічному циклі на очищену поверхню n-InN контактоутворюючого шару, товщиною 10÷200 нм, шару дифузійного бар'єру, товщиною 10÷200 нм, зовнішнього контактного шару Au, товщиною 500÷1000 нм, який відрізняється тим, що як дифузійний бар'єр використовують шар Ті, контактоутворюючий - шар Pd, a напилювання проводять на...

Номер патенту: 99318

Опубліковано: 25.05.2015

Автори: Гудименко Олександр Йосипович, Кладько Василь Петрович, Манойлов Едуард Геннадійович, Кріщенко Ірина Миронівна, Кривий Сергій Борисович, Каганович Елла Борисівна

МПК: B82Y 30/00

Мітки: одержання, золота, наноструктури, плівкової, плазмонної, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання плазмонної плівкової наноструктури золота, що включає метод імпульсного лазерного осадження з прямого потоку кластерів факела на підкладку зі скла в вакуумній камері в атмосфері аргону при дії променем лазера на мішень із золота, який відрізняється тим, що додатково проводять осадження із зворотного потоку кластерів факела на підкладку, крім того при тиску залишкового газу в камері р=10-2 Па діють променем YAG:Nd3+ лазера з...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.09.2013

Автори: Голтвянський Юрій Васильович, Хацевич Ігор Мирославович, Венгер Євген Федорович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Нікірін Віктор Андрійович, Оберемок Олександр Степанович, Кучук Адріан Володимирович, Кладько Василь Петрович

МПК: H01L 31/0392, G01J 5/20

Мітки: ванадію, термочутливої, плівки, виготовлення, неохолоджуваних, спосіб, оксиду, болометрів

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...