Оберемок Олександр Степанович

Номер патенту: 115174

Опубліковано: 10.04.2017

Автори: Кладько Василь Петрович, Романюк Андрій Борисович, Голтвянський Юрій Васильович, Оберемок Олександр Степанович, Федулов Віктор Васильович, Сафрюк Надія Володимирівна, Мельник Віктор Павлович, Сабов Томаш Мар'янович

МПК: H01L 21/265, H01L 31/18

Мітки: спосіб, фотодіодів, індію, виготовлення, антимоніді

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення фотодіодів, який включає створення на поверхні антимоніду індію 1-го типу провідності з концентрацією легуючих атомів не більше 3·1015 см-3 локальних областей р-n переходу шляхом імплантації іонів, які дозволяють створити 2-ий тип провідності в приповерхневій області підкладки, нанесення маски за допомогою якої долеговують області 1-го типу провідності до концентрації 1017-1019 см-3, зняття маски, після чого...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.09.2013

Автори: Хацевич Ігор Мирославович, Нікірін Віктор Андрійович, Голтвянський Юрій Васильович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Оберемок Олександр Степанович, Кучук Адріан Володимирович, Кладько Василь Петрович, Венгер Євген Федорович

МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392

Мітки: термочутливої, ванадію, спосіб, плівки, болометрів, неохолоджуваних, оксиду, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...

Номер патенту: 62706

Опубліковано: 12.09.2011

Автори: Попов Валентин Георгійович, Оберемок Олександр Степанович, Мельник Віктор Павлович, Гудименко Олександр Йосипович, Нікірін Віктор Андрійович, Романюк Борис Миколайович, Хацевич Ігор Мирославович, Голтвянський Юрій Васильович

МПК: G02F 1/015

Мітки: методом, термохромної, розпилення, ванадію, діоксиду, спосіб, магнетронного, плівки, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію, який включає нанесення на підігріту до 200-250 °С підкладку у вакуумній камері шару аморфного оксиду ванадію і його кристалізацію шляхом термічного відпалу, який відрізняється тим, що шар аморфного оксиду ванадію наносять шляхом магнетронного розпорошення ванадієвої мішені в середовищі газової суміші Аr та О2, вміст якого складає 3-7 %, зі швидкістю напилення 5-15 нм/хв., а термічний...

Номер патенту: 85477

Опубліковано: 26.01.2009

Автори: Попов Валентин Георгійович, Гамов Дмитро Вікторович, Оберемок Олександр Степанович, Хацевич Ігор Мирославович, Мельник Віктор Павлович, Романюк Борис Миколайович

МПК: H01L 29/00, H01L 21/00

Мітки: спосіб, нанокластерної, фотолюмінесцентної, виготовлення, кремнієвої, структури

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення фотолюмінесцентної кремнієвої нанокластерної структури, який включає нанесення на Si підкладку методом плазмохімічного осадження з газової фази плівки SiOx із показником заломлення n від 1,5 до 1,78 та відпал отриманої структури в атмосфері інертного газу, який відрізняється тим, що перед відпалом в плівку SiOx методом іонної імплантації вводять іони Аl+, дози яких складають від 0,4х1016 до 1,15х1016 іонів/см2, а відпал...