Мусаєв Сергій Мусаєвич
Спосіб виготовлення фотодіоду на антимоніді індію
Номер патенту: 115173
Опубліковано: 10.04.2017
Автори: Калистий Геннадій Володимирович, Дубіковський Олександр Володимирович, Гудименко Олександр Йосипович, Романюк Борис Миколайович, Сапон Сергій Васильович, Педченко Юрій Миколайович, Попов Валентин Георгієвич, Мусаєв Сергій Мусаєвич
МПК: H01L 31/18, H01L 21/265
Мітки: спосіб, фотодіоду, індію, антимоніді, виготовлення
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення фотодіодів на основі кристалів антимоніду індію n-типу провідності, що включає в себе підготовку поверхні вихідної пластини антимоніду індію, формування легованих областей р-типу провідності, формування захисної плівки шляхом анодного окиснення (АОП) в електроліті, нанесення пасивуючої просвітлюючої діелектричної плівки та формування контактної системи, який відрізняється тим, що після формування захисної плівки АОП...
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 83371
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Оберемок Олександр Степанович, Кучук Адріан Володимирович, Венгер Євген Федорович, Голтвянський Юрій Васильович, Нікірін Віктор Андрійович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Кладько Василь Петрович, Хацевич Ігор Мирославович
МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392
Мітки: неохолоджуваних, болометрів, оксиду, ванадію, плівки, термочутливої, виготовлення, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...