Патенти з міткою «неохолоджуваних»
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 83371
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Голтвянський Юрій Васильович, Кладько Василь Петрович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Кучук Адріан Володимирович, Нікірін Віктор Андрійович, Оберемок Олександр Степанович, Венгер Євген Федорович, Хацевич Ігор Мирославович
МПК: G01J 5/20, H01L 31/0392
Мітки: плівки, спосіб, виготовлення, неохолоджуваних, болометрів, оксиду, термочутливої, ванадію
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів, який включає магнетронне напорошення на підкладку плівки оксиду ванадію з ванадієвої мішені в кисневмісній атмосфері та термічний відпал плівки в суміші кисню та інертного газу, де кисню 25-95 %, а інертного газу - решта, який відрізняється тим, що плівку напорошують на підігріту до 220-260 °C підкладку в атмосфері суміші кисню з інертним газом,...
Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів
Номер патенту: 75377
Опубліковано: 17.04.2006
Автори: Михайловська Катерина Василівна, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович
МПК: G01J 5/20, G01J 5/00, C23C 14/00 ...
Мітки: термочутливої, болометрів, одержання, спосіб, неохолоджуваних, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб одержання термочутливої плівки для неохолоджуваних болометрів, що включає нанесення у вакуумі на підкладку шару діелектрика, який відрізняється тим, що термочутливу плівку одержують методом термічного співвипаровування у вакуумі суміші порошків або високочастотним магнетронним розпиленням мішені, що містить монооксид кремнію SiO і принаймні один метал, вибраний з ряду Ті, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Y, Zr, Mo, Та, W, Се або їх сплав,...