Педченко Юрій Миколайович
Спосіб виготовлення фотодіоду на антимоніді індію
Номер патенту: 115173
Опубліковано: 10.04.2017
Автори: Романюк Борис Миколайович, Гудименко Олександр Йосипович, Попов Валентин Георгієвич, Калистий Геннадій Володимирович, Сапон Сергій Васильович, Педченко Юрій Миколайович, Мусаєв Сергій Мусаєвич, Дубіковський Олександр Володимирович
МПК: H01L 31/18, H01L 21/265
Мітки: фотодіоду, спосіб, виготовлення, індію, антимоніді
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення фотодіодів на основі кристалів антимоніду індію n-типу провідності, що включає в себе підготовку поверхні вихідної пластини антимоніду індію, формування легованих областей р-типу провідності, формування захисної плівки шляхом анодного окиснення (АОП) в електроліті, нанесення пасивуючої просвітлюючої діелектричної плівки та формування контактної системи, який відрізняється тим, що після формування захисної плівки АОП...