Штабалюк Агата Петрівна
Спосіб виготовлення сенсорів магнітного поля на основі тонких плівок антимоніду індію
Номер патенту: 74253
Опубліковано: 25.10.2012
Автори: Штабалюк Агата Петрівна, Макідо Олена Юріївна, Большакова Інеса Антонівна, Ворошило Галина Іванівна, Шуригін Федір Михайлович, Кость Ярослав Ярославович
МПК: C30B 25/00
Мітки: основі, спосіб, плівок, магнітного, сенсорів, поля, виготовлення, тонких, індію, антимоніду
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення сенсорів магнітного поля на основі тонких плівок антимоніду індію, згідно з яким на готовій плівці створюють геометричну конфігурацію магнітного сенсора та наносять електроди хімічним або електрохімічним способом, до яких припаюють мідний провід, який відрізняється тим, що плівку з припаяним мідним проводом розміщують у вакуумну камеру, вакуумують до тиску в камері 1·10-6-1·10-5 Па, нагрівають до температури 200-250 °С,...
Спосіб підвищення стабільності параметрів мікрокристалів антимоніду індію
Номер патенту: 99078
Опубліковано: 10.07.2012
Автори: Большакова Інеса Антонівна, Ворошило Галина Іванівна, Кость Ярослав Ярославович, Макідо Олена Юріївна, Штабалюк Агата Петрівна, Шуригін Федір Михайлович
МПК: C30B 25/00, C30B 29/40
Мітки: підвищення, спосіб, антимоніду, стабільності, параметрів, мікрокристалів, індію
Формула / Реферат:
Спосіб підвищення стабільності параметрів мікрокристалів антимоніду індію, згідно з яким кварцову ампулу, в якій розташовують очищену підкладку, з попередньо нанесеним на неї металом-каталізатором - золотом, джерело антимоніду індію та йод, вакуумують до тиску в ампулі не більше (0,9-1,1)∙10-4 Па, запаюють та розміщують у двозонній печі опору з нагрівом зони джерела вихідних компонентів до температури Т=700±5 °С та нагрівом зони...