Стріха Віталій Ілларіонович
Спосіб виготовлення надпровідної оксидної плівки на кремнії
Номер патенту: 18067
Опубліковано: 17.06.1997
Автори: Кузнецов Геннадій Васильович, Стріха Віталій Ілларіонович, Ільченко Василь Васильович, Білоусов Ігор Володимирович
МПК: H01L 39/24, H01L 39/12
Мітки: кремнії, спосіб, плівки, оксидної, надпровідної, виготовлення
Формула / Реферат:
Способ изготовления сверхпроводящей оксидной пленки на кремнии, предусматривающий предварительное формирование на поверхности кремниевой подложки буферного слоя с последующим нанесением на него сверхпроводящей пленки, отличающийся тем, что буферный слой формируют путем нанесения на поверхность кремниевой подложки слоя оксида бария с последующей выдержкой при температуре 730-750°С в течение 1,5-2 часов.