Склофріта для ізоляційних покрить на сталевих та тітанових підкладинках

ДЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЗ N » СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЄСПУБЛИН „,SU,m 1533246 Oi A (51)4 С 03 С 8/02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГННТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) ^38^529/23-33 (22) 18.01.88 (71) Днепропетровский химико-технологический институт им.Ф.Э.Дзержинского (72) В.И.Голеус, С.И,Максимович, Т.И.Козырева, А.В.Марченко, В.И.Ризун, Е.Я.Звонарева и С.И.Осечкин (53) 666.293.52 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1159903, кл. С 03 С 8/00, 1983. Патент США № ^3585*1, кл. 501/5, 1982. (5і*) СТЕКЛОФРИТТА ДЛЯ ИЗОЛЯЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ НА СТАЛЬНЫХ И ТИТАНОВЫХ ПОДЛОЖКАХ Изобретение относится к составам стекловидных фритт, используемых для получения электроизоляционных покрытий на титановых и стальных подложках для толстопленочных гибридных интегральных микросхем (ГИС). Целый изобретения является повышение прочности сцепления. Конкретные составы стеклофритты представлены в табл. 1, их свойства • в табл. 2. Шихты стеклофритт составляют из кварцевого песка, углекислого кальция, борной кислоты и оксидов магния, кобальта и марганца. Их варку осуществляют в корундовых тиглях при 1200~1300°С в течение 40-80 мин. Готовые расплавы гранулируют мокрым способом. Для получения электроизоляционных покрытий фритты измельчают до дис'(8-89 (57) Изобретение относится к соствам стекловидных фритт, используемых для получения электроизоляционных покрытий на титановых и стальных подложках толстопленочных гибридных интегральных микросхем. С целью повышения прочности сцепления стеклофриттэ для изоляционных покрытий на стальных и титановых подложках содержит, иас.%: SiO2 16,8-33,8; В-грэ 8,1-26,1; СаО 25,^-^45,8; MgO 12,2-29,9; СоО 0,1 1,4; МпО 0,1-1,*», Температура обжига 8^0-850°С, ТКЛР - (80-103)-Ю"7град, прочность сцепления 0,78-1,08 Дж. 2 табл. І персности, характеризующейся удель2 ной поверхностью ^000-6000 см /г. Из полученного порошка и изопропилового либо изобутилового спиртов приготавливают суспензии с содержанием стекла 50-150 г/л, которые используются для получения покрытий методом СО электрофореза. При получении покрытий методом трафаретной печати используют пасты ОЭ I. на основе органических связующих Й%-ный раствор метилцеллюлозы в терпинеоле) с содержанием 70-80% порошка предлагаемых стекол. ел со Описываемые составы позволяют получить электроизоляционные покрытия с температурой обжига 8^0-850 С и более высокой прочностью сцепления с ПОДЛОЖКОЙ. 1533246 Ф о о м у л а и з о б р е т е н и я Стеклофритта для изоляционных п о крытий на стальных и титановых подложках, включающая S i O ^ , В ^ 0 э , СаО, MgO, о т л и ч а ю щ а я с я тем, ч т о , с целью повышения прочности сцепления, она дополнительно содержит СоО и МпО при следующее соотношении компонентов, масД; SiO ? 16 8.33,8; В 2 0 3 8 , 1 - 2 6 , 1 ; СаО 2 5 , ^ 5 , 8 ; MgO 12,2-29,9; СоО 0,1-1,4; МпО 0,1 Т а б п и Содершэние Компоненты компонента, мас.%, Прототип (патент США) № 43585*0 в составе 3 SiO, СаО BjO. «ВО < СоО НПО 16,8 26,0 25,8 29,9 0,8 0,7 32,1 32,5 33,8 **5,8 37,2 38,5 8,6 8,1 16,6 12,5 1 »•** 0,1 V Температура обжига, °С Прочность сцепления покрытия (работа удара, Дж) 1 | 1*1,9 15,1 0,9 0,6 29,6 26,5 29,6 24,5 17,9 0,1 25,1» 26,1 17.1» 0,1 • 32,0 39,8 12, k 1*1,3 0,5 1,0 11** Т а ID Плотность, г/см 3 ТКЛР, 3 17,6 1,0 0,5 31,1 35,5 15,9 16,0 0,6 0,9 Состав 15 33 ,8 35 ,0 13 ,6 17 ,6 1 Іоказатель 12,2 0,7 0,8 29,3 39,2 j 6 "~Т~~п л и ц а І 9 2 1» 2,863 2,9^9 2,856 2,928 2,893 2.8И 2,725 2,819 2,912 2,8^0 98 103 96 99 90 37 80 83 96 104 Ш 850 8*і0 850 850 850 8