Спосіб отримання діелектричної плівки на основі оксиду алюмінію

Реферат: Спосіб отримання діелектричної плівки на основі оксиду алюмінію включає нагрівання порошку оксиду алюмінію до температури сублімації та його осадження на стальну підкладку. Осаджену плівку оксиду алюмінію після осадження порошку на підкладку та охолодження до кімнатної температури додатково нагрівають до температури 600-800 °C до її окиснення. UA 81673 U (54) СПОСІБ ОТРИМАННЯ ДІЕЛЕКТРИЧНОЇ ПЛІВКИ НА ОСНОВІ ОКСИДУ АЛЮМІНІЮ UA 81673 U UA 81673 U 5 10 15 20 25 30 Корисна модель належить до металургії, а саме до області формування діелектричних плівок на основі оксиду алюмінію (Аl2O3) на підкладці зі сталі, і може бути використана для формування якісних електроізоляційних шарів нагрівних елементів. Відомий спосіб отримання діелектричної плівки на основі оксиду алюмінію, що включає нагрівання порошку оксиду алюмінію до температури сублімації та його осадження на стальну підкладку [Проценко І.Ю., Шумакова H.I. Технологія одержання та застосування плівкових матеріалів. Посібник. - Суми: Видавництво Сумського державного університету, 2008.-267 с.]. Формування діелектричної плівки на основі Аl2О3 здійснюється за допомогою дозаторного 18 пристрою; температура нагрівання плівки становить 1400-1600 °C, парціальний тиск Р=1,510 6 мм. рт. ст., опір - (1,5-2,5)10 Ом. При таких параметрах формується плівка Аl2О3, що характеризується нестабільним 6 стехіометричним складом, частковою провідністю, а її опір складає 210 Ом. Вона не забезпечує достатньої електроізоляції нагрівних елементів. В основу корисної моделі поставлена задача створити спосіб отримання діелектричної плівки Аl2О3, яка б володіла більшим значенням опору та була непровідною, що дасть можливість використовувати їх для виготовлення діелектричних покриттів на нагрівних елементах. Поставлена задача вирішується тим, що в способі отримання діелектричної плівки на основі оксиду алюмінію, що включає нагрівання порошку оксиду алюмінію до температури сублімації та його осадження на стальну підкладку, згідно з корисною моделлю, осаджену плівку оксиду алюмінію після осадження порошку на підкладку та охолодження до кімнатної температури додатково нагрівають до температури 600-800 °C до її окиснення. Це забезпечує формування діелектричних плівок, які є непровідними, стабільного 1214 стехіометричного складу з високим значенням опору (10 10 Ом), що дозволяє використовувати їх для виготовлення діелектричних покриттів на нагрівних елементах. Спосіб здійснюють так. Порошок оксиду алюмінію нагрівають до температури сублімації 1400-1600 °C до його осадження на стальну підкладку, охолоджують до кімнатної температури, а потім додатково нагрівають до температури 600-800 °C, в результаті чого відбувається доокиснення плівки, що забезпечує високі значення опору, високі діелектричні властивості та стабільний стехіометричний склад діелектричної плівки, що дасть можливість використовувати її як ізоляцю на нагрівних елементах. № п/п 1 2 3 4 5 35 Температура нагрівання, °C 550 600 700 800 850 Значення опору, Ом 6 10 12 10 13 10 14 10 6 10 Як видно з таблиці, в якій показана залежність опору від температури нагрівання, повторне нагрівання, прикл. 2, 3, 4, показує високі значення опору, а нагрів до температури нижче 600 °C та вище 800 °C, прикл. 1 та 5, не забезпечує необхідні значення опору та не має стабільної стехіометрії діелектричної плівки. ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 40 45 Спосіб отримання діелектричної плівки на основі оксиду алюмінію, що включає нагрівання порошку оксиду алюмінію до температури сублімації та його осадження на стальну підкладку, який відрізняється тим, що осаджену плівку оксиду алюмінію після осадження порошку на підкладку та охолодження до кімнатної температури додатково нагрівають до температури 600800 °C до її окиснення. Комп’ютерна верстка С. Чулій Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 1