Патенти з міткою «кварцеві»
Спосіб нанесення захисного шару на кварцеві лодочи
Номер патенту: 11381
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Маскович Степан Михайлович, Насипайко Олександр Васильович, Шпакович Роман Степанович, Новосядлий Степан Петрович
МПК: C30B 35/00, C30B 25/02
Мітки: лодочи, спосіб, шару, захисного, кварцеві, нанесення
Формула / Реферат:
Способ нанесения защитного слоя на кварцевые лодочки осаждением из газовой фазы, содержащей соединение кремния, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышения износостойкости лодочек, в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении...