Спосіб нанесення захисного шару на кварцеві лодочи

ДЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЗ N* СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК О0 0 0' О (19) SU,,,, 15668 І О А1 С ЗО В 25/02, 35/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫГИЯМ ПРИ ГННТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ і (21) 4419417/23-26 (22) 29.03.88 (72) С.П. Новосядлый, А.В. Насыпайко, СМ. Маскоеич и Р . С Шпакович (53) 621.315.592(088.8) (56) Зайвка ФРГ № 3441056, кн. С 03 С 17/22, 1986. (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ЗАЩИТНОГО СЛОЯ НА КВАРЦЕВЫЕ ЛОДОЧКИ (57) Изобретение относится к технологии получения диэлектрических пленок, которые могут быть использованы при производстве интегральных схем. Цель Изобретение относится к обработке поверхности кварцевой оснастки, применяемой при изготовлении кристаллов интегральных схем. Цель изобретения - уменьшение дефектности структур, обрабатываемых в кварцевых лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышение износостойкости лодочек. П р и м е р , Защитный слой лоликремния на кварцевые лодочки формируют на установке "Изотрон" в следующем режиме: Температура осаждения, 600+25 Расход азота, л/ч 150-1000 Расход газовой смеси аргона с моносилаиом или дихлорсиланом, 50+20 л/ч Давление в реакторе в Не более 6,65 режиме откачки, Па Давление в реакторе в режиме осаждения» 50+20 Па 19-90 изобретения - уменьшение дефектности структур, обрабатываемых в кварцевых лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышение износостойкости лодочек. Способ включает нанесение слоя поликремния толщиной не менее 0,2 мкм на поверхность кварцевой лодочки из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575625°С и давлении в реакторе 30-70 Па, Износостойкость лодочек повысилась до 120 циклов, а дефектность пленок снизилась на порядок. Скорость осаждения, А/мин 300+200 Время осаждения, мин Не менее 10 Толщина защитного слоя, мкм 0,5+0,3 Такое покрытие кварцевых лодочек позволяет периодически осуществлять его снятие путем травления с последующей химобработкой и формирование нового защитного слоя, что увеличивает одновременно стойкость лодочек в несколько раз. Поликремниевая пленка налодочках, кроме того, создает геттер для примесей при формировании диэлектрических пленок. Внедрение данной защиты обеспечивает не только повышение износостойкости кварцевых лодочек, но и еущест™ , венно уменьшает дефектность пленок, ] исключает выделение испарений приме- і сей из кварца, т.е. их геттерирует, что в конечном результате приводит к росту процента выхода годных. Так износостойкость кварцевых лодочек повы-( (Л ел ОІ 00 1566810 сипась с 80 до 120 циклов, а дефектность пленок снизилась с 2-3 до 0 , 3 0,4 д е ф . / с м 2 . Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я Способ нанесения защитного слоя на кварцевые лодочки осаждением из г а з о вой фазы, содержащей соединение крем ния, о т л и ч а ю щ и й с я Редактор Л, Лашкова тем, 10 ч т о , с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании диэлектрических плет нок, и повышения износостойкости лодоч е к , в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении 30-70 МПа. Составитель Е. Лебедева Техред М.Ходанич Корректор О. Кравцова Заказ 1385/ДСП Тираж 208 Подписное В И П Государе гвенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР НИИ 113035, Москва, Ж-35, Раушская н а б . , д . 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101