Патенти з міткою «лодочи»
Спосіб нанесення захисного шару на кварцеві лодочи
Номер патенту: 11381
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Маскович Степан Михайлович, Новосядлий Степан Петрович, Насипайко Олександр Васильович, Шпакович Роман Степанович
МПК: C30B 25/02, C30B 35/00
Мітки: кварцеві, шару, нанесення, захисного, спосіб, лодочи
Формула / Реферат:
Способ нанесения защитного слоя на кварцевые лодочки осаждением из газовой фазы, содержащей соединение кремния, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности структур, обрабатываемых в лодочках при формировании диэлектрических пленок, и повышения износостойкости лодочек, в качестве защитного слоя осаждают слой поликремния толщиной не менее 0,2 мкм из газовой смеси аргона с моносиланом или дихлорсиланом при 575-625°С и давлении...