Балан Олександр Сергійович
Спосіб отримання плівки inn на підкладці з поруватого шару inp
Номер патенту: 54800
Опубліковано: 25.11.2010
Автори: Коноваленко Анатолій Анатольович, Кідалов Валерій Вітальович, Сичікова Яна Олександрівна, Сукач Георгій Олексійович, Балан Олександр Сергійович
МПК: H01L 21/00
Мітки: спосіб, поруватого, шару, підкладці, отримання, плівки
Формула / Реферат:
Спосіб отримання плівки InN на підкладці з поруватого шару InP, що здійснюють методом радикало-променевої епітаксії, який відрізняється тим, що плівку InN отримують методом радикало-променевої епітаксії у потоці чистого аміаку при температурі 300-400 °С протягом 1,5 години на підкладках поруватого фосфіду індію, отриманого електрохімічним травленням.
Спосіб текстурування поверхні фосфіду індію р-типу
Номер патенту: 53712
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Коноваленко Анатолій Анатольович, Сукач Георгій Олексійович, Кідалов Валерій Вітальович, Балан Олександр Сергійович
МПК: H01L 21/306
Мітки: індію, поверхні, спосіб, фосфіду, р-типу, текстурування
Формула / Реферат:
1. Cпосіб виготовлення текстурованих структур з розвиненою морфологією на поверхні монокристалічного фосфіду індію р-типу, а саме фотоелектрохімічного травлення, що проводять у розчині плавикової бромоводневої кислоти концентрацією НВr:Н2О=1:1.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що травлення проводять у 50% розчині бромідної кислоти при щільності струму 150 мА/см2 та часі анодування 8 хв.3. Спосіб за п. 1, який...