Коноваленко Анатолій Анатольович

Номер патенту: 80523

Опубліковано: 10.06.2013

Автори: Коноваленко Анатолій Анатольович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: C23C 26/00

Мітки: сполук, отримання, поруватих, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для отримання поруватих сполук, який відрізняється тим, що обробку кристалу проводять методом електрохімічного травлення, у якому електрохімічна ванна складається з двох частин - нероз'ємної фторопластової основи з робочим електродом внизу та рухомого штока, який містить допоміжний, вимірювальний та зондуючий електроди.2. Пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що зразок довільної форми притискається з одного боку до...

Номер патенту: 80522

Опубліковано: 10.06.2013

Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Коноваленко Анатолій Анатольович

МПК: C23C 26/00

Мітки: поруватого, кремнію, спосіб, отримання

Формула / Реферат:

 Спосіб отримання поруватого кремнію методом електрохімічного травлення, який відрізняється тим, що травлення проводять в розчині соляної кислоти (5-15 %) у темряві при проходженні постійного струму щільністю (0,5-2) мА/см2.

Номер патенту: 54800

Опубліковано: 25.11.2010

Автори: Коноваленко Анатолій Анатольович, Сукач Георгій Олексійович, Кідалов Валерій Вітальович, Балан Олександр Сергійович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: H01L 21/00

Мітки: шару, підкладці, плівки, поруватого, отримання, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб отримання плівки InN на підкладці з поруватого шару InP, що здійснюють методом радикало-променевої епітаксії, який відрізняється тим, що плівку InN отримують методом радикало-променевої епітаксії у потоці чистого аміаку при температурі 300-400 °С протягом 1,5 години на підкладках поруватого фосфіду індію, отриманого електрохімічним травленням.

Номер патенту: 53712

Опубліковано: 11.10.2010

Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Кідалов Валерій Вітальович, Балан Олександр Сергійович, Сукач Георгій Олексійович, Коноваленко Анатолій Анатольович

МПК: H01L 21/306

Мітки: поверхні, фосфіду, р-типу, індію, спосіб, текстурування

Формула / Реферат:

1. Cпосіб виготовлення текстурованих структур з розвиненою морфологією на поверхні монокристалічного фосфіду індію р-типу, а саме фотоелектрохімічного травлення, що проводять у розчині плавикової бромоводневої кислоти концентрацією НВr:Н2О=1:1.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що травлення проводять у 50% розчині бромідної кислоти при щільності струму 150 мА/см2 та часі анодування 8 хв.3. Спосіб за п. 1, який...