Дудавський Сергій Ісаєвич
Спосіб отримання легованих монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 8250
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Червоний Іван Федорович, Трубіцин Юрій Васильович, Осовський Михайло Йосипович, Фалькевич Едуард Семенович, Сілаков Григорій Іванович, Дудавський Сергій Ісаєвич, Дудченок Володимир Васильович
МПК: C30B 13/00
Мітки: зонної, безтигельної, здійснення, кремнію, спосіб, індукційної, легованих, пристрій, плавки, отримання, методом, монокристалів
Формула / Реферат:
1. Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки, включающий размещение исходного стержня в камере выращивания, вакууми-рование камеры выращивания, расплавление исходного стержня и дозированную подачу легирующего элемента соплом к зоне расплава, отличающийся тем, что в процессе вакуумирования производят дополнительное осушивание камеры выращивания и технологической оснастки, а...