Дудченок Володимир Васильович
Спосіб отримання легованих монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 8250
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Сілаков Григорій Іванович, Осовський Михайло Йосипович, Дудченок Володимир Васильович, Червоний Іван Федорович, Дудавський Сергій Ісаєвич, Фалькевич Едуард Семенович, Трубіцин Юрій Васильович
МПК: C30B 13/00
Мітки: спосіб, плавки, монокристалів, легованих, пристрій, методом, безтигельної, зонної, індукційної, здійснення, отримання, кремнію
Формула / Реферат:
1. Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки, включающий размещение исходного стержня в камере выращивания, вакууми-рование камеры выращивания, расплавление исходного стержня и дозированную подачу легирующего элемента соплом к зоне расплава, отличающийся тем, что в процессе вакуумирования производят дополнительное осушивание камеры выращивания и технологической оснастки, а...
Спосіб одержання бездислокаційних монокристалів кремнію методом безтигельної зонної плавки
Номер патенту: 8247
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Сілаков Григорій Іванович, Фалькевич Едуард Семенович, Червоний Іван Федорович, Дудченок Володимир Васильович
МПК: C30B 15/20, C30B 13/00
Мітки: кремнію, бездислокаційних, методом, спосіб, безтигельної, плавки, монокристалів, одержання, зонної
Формула / Реферат:
Способ получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки, включающий выращивание на затравке тонкой "шейки", разращивание конической части монокристалла до заданного диаметра и последующее выращивание цилиндрической части монокристалла диаметром D, при использовании индуктора с внутренним диаметром d, меньшим величины D, отличающийся тем, что разращивание конической части монокристалла до...