Осовський Михайло Йосипович
Спосіб отримання легованих монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 8250
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Сілаков Григорій Іванович, Фалькевич Едуард Семенович, Червоний Іван Федорович, Дудченок Володимир Васильович, Трубіцин Юрій Васильович, Дудавський Сергій Ісаєвич, Осовський Михайло Йосипович
МПК: C30B 13/00
Мітки: пристрій, спосіб, легованих, отримання, безтигельної, зонної, плавки, монокристалів, індукційної, кремнію, здійснення, методом
Формула / Реферат:
1. Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки, включающий размещение исходного стержня в камере выращивания, вакууми-рование камеры выращивания, расплавление исходного стержня и дозированную подачу легирующего элемента соплом к зоне расплава, отличающийся тем, что в процессе вакуумирования производят дополнительное осушивание камеры выращивания и технологической оснастки, а...