Фалькевич Едуард Семенович
Спосіб отримання легованих монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 8250
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Трубіцин Юрій Васильович, Сілаков Григорій Іванович, Осовський Михайло Йосипович, Червоний Іван Федорович, Дудавський Сергій Ісаєвич, Дудченок Володимир Васильович, Фалькевич Едуард Семенович
МПК: C30B 13/00
Мітки: спосіб, отримання, легованих, плавки, зонної, індукційної, здійснення, кремнію, безтигельної, монокристалів, пристрій, методом
Формула / Реферат:
1. Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки, включающий размещение исходного стержня в камере выращивания, вакууми-рование камеры выращивания, расплавление исходного стержня и дозированную подачу легирующего элемента соплом к зоне расплава, отличающийся тем, что в процессе вакуумирования производят дополнительное осушивание камеры выращивания и технологической оснастки, а...
Спосіб одержання бездислокаційних монокристалів кремнію методом безтигельної зонної плавки
Номер патенту: 8247
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Фалькевич Едуард Семенович, Червоний Іван Федорович, Сілаков Григорій Іванович, Дудченок Володимир Васильович
МПК: C30B 15/20, C30B 13/00
Мітки: кремнію, спосіб, бездислокаційних, безтигельної, одержання, монокристалів, зонної, методом, плавки
Формула / Реферат:
Способ получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки, включающий выращивание на затравке тонкой "шейки", разращивание конической части монокристалла до заданного диаметра и последующее выращивание цилиндрической части монокристалла диаметром D, при использовании индуктора с внутренним диаметром d, меньшим величины D, отличающийся тем, что разращивание конической части монокристалла до...