Трубіцин Юрій Васильович
Спосіб отримання легованих монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки та пристрій для його здійснення
Номер патенту: 8250
Опубліковано: 29.03.1996
Автори: Червоний Іван Федорович, Дудавський Сергій Ісаєвич, Фалькевич Едуард Семенович, Дудченок Володимир Васильович, Трубіцин Юрій Васильович, Осовський Михайло Йосипович, Сілаков Григорій Іванович
МПК: C30B 13/00
Мітки: безтигельної, пристрій, індукційної, зонної, методом, здійснення, монокристалів, плавки, спосіб, отримання, кремнію, легованих
Формула / Реферат:
1. Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки, включающий размещение исходного стержня в камере выращивания, вакууми-рование камеры выращивания, расплавление исходного стержня и дозированную подачу легирующего элемента соплом к зоне расплава, отличающийся тем, что в процессе вакуумирования производят дополнительное осушивание камеры выращивания и технологической оснастки, а...