Хайтцш Олаф
Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам’ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном
Номер патенту: 73508
Опубліковано: 15.08.2005
Автори: Штайн фон Камінскі Елард, Шпрінгманн Олівер, Хуккельс Кай, Куттер Хрістоф, Реннекамп Райнхольд, Лудвіг Хрістоф, Вавер Петер, Вольф Конрад, Хайтцш Олаф, Рьоріх Майк
МПК: H01L 21/336, H01L 29/788
Мітки: комірки, виготовлення, окремим, напівпровідникової, вікном, енергонезалежної, тунельним, спосіб, запам'ятовуючої
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення енергонезалежної напівпровідникової запам'ятовуючої комірки з окремим тунельним вікном, що включає технологічні операції виготовлення комірки тунельного вікна (TF) шляхом формування тунельної області (TG), тунельного шару (4), запам'ятовуючого шару (Т5) тунельного вікна, діелектричного шару (Т6) тунельного вікна і шару (Т7) керуючого електрода тунельного вікна, і транзисторної запам'ятовуючої комірки (TZ) шляхом...